高純度ガス系バルブ
高純度ガス系バルブ
高純度ガス系バルブの紹介です。
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高純度ガス系 2連3方バルブ(フリッカータイプ)
バルブボックス自体の省スペース化が可能! コンパクトなボディ部のデッドスペースを究極にまで少なくした複合バルブです。
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高純度ガス系 2連3方バルブ(ブロックタイプ)
配管流路のデッドスペースを極小化、優れた脱ガス特性!特殊仕様として更に3連以上の多連のブロックバルブを設計・製作可能
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高純度ガス系 コンパクトダイヤフラムバルブ『KCDシリーズ』
「KDシリーズ」をベースに更なるコンパクト化を実現!基本性能は「KDシリーズ」を全て受け継いだハイスペックバルブ
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高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『KDシリーズ』
半導体製造プロセス用高純度ガスに対応!高いシール性能と高耐久化、脱ガス性能、耐蝕性能を極限まで追求
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高純度ガス系バルブ『LOTOバルブ』
ヒューマンエラーによる誤操作防止! OPEN状態 或いは OPEN-CLOSE両方の状態でも対応可能な高純度ガス系LOTOバルブ
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高圧対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『NRDシリーズ』
スプリングレスダイヤフラム構造の採用でパーティクルを低減!ハイフロータイプをラインアップしています
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高圧対応・自動ダイヤフラムバルブ『NRHD8Cシリーズ』
大流量供給システムに最適!安全・高耐久・パーティクルフリーを実現した高圧対応の自動バルブ
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高圧対応・自動ダイヤフラムバルブ『NRMD8Cシリーズ』
安全・高耐久・パーティクルフリーを実現!アクチュエータをスリム化した高圧対応の自動バルブ
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高圧ガス対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『RDシリーズ』
コンパクト化と低トルク化を実現しました高圧対応のダイヤフラムバルブ!手動弁と自動弁をご用意!
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高温対応バルブ SCVサブマージブルバルブ『KD-Sシリーズ』
高温環境(最高200℃)で半導体製造プロセスの多種多様なガスに使用可能!お客様の使い勝手に配慮したデザインコンセプト!
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高純度ガス系バルブ『TD/TCD(B-SEAL バルブ)』
KITZ SCT独自のシール方式のバルブです。集積化への対応が可能!手動弁は、誤作動防止のため、ロック機構が装備されています
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高純度ガス系バルブ『TD/TCD(C-SEAL バルブ)』
1.125"C-SEAL対応 コンパクト設計のバルブ!誤作動防止LOTO機構付きもご用意!繰返し着脱でのシール性能を高めています
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高純度ガス系 コンパクトダイヤフラムバルブ『VLCDシリーズ』
「KDシリーズ」の基本性能を受け継ぎ、20%縮小化を実現!半導体、FPD、LED用製造装置等へ使用可能!
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高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『VLDシリーズ』
駆動部品数の最小化、単純化を実現!半導体用高純度ガスに対応し、パーティクル性能を極限まで追求したダイヤフラムバルブ
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高圧対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『VRDシリーズ』
半導体製造プロセスの高圧ガスラインや装置内配管等に!全サイズの高さを従来品より6mm短縮しコンパクト化
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高純度ガス系 ZEROボリュームバルブ『ZCDシリーズ』
バルブ内のデッドボリュームを極限まで最小化!極めて良好なガス置換特性のダイヤフラムバルブです。リフト部(ASSY)は交換可能
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高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『クイックターンバルブ』
ヒューマンエラーによるバルブ誤操作防止を目的に開発された中間開度がなく、必ず"OPEN"または"CLOSE"状態を保持するバルブ
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高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『ツーステップバルブ』
1台で流量調整と全開/全閉の2段階のコントロールを可能とした画期的な複合バルブです。
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リリーフ機能付ダイヤフラムバルブ『KDシリーズ』
異常圧力が発生した際、配管内の圧力を下げる安全機能付きダイヤフラムバルです。シリンダーキャビネット等の安全対策に!
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高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『高温(250℃)対応バルブ』
高性能、コンパクト、低価格を実現!均熱性を必要とする有機金属系の半導体プロセスに好適
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クリーンバタフライバルブ『BZD』
半導体グレードに対応したバタフライバルブです。シール性を良くし、余分な圧着力を必要としない!小さな開閉トルクで操作が可能
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Y型ベローズバルブ『IBC/IBD/IBE』
大径サイズストレートタイプ!当社独自のY型構造により、より高いCv値を実現
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チェックバルブ『IC』
優れた内部シール性!低圧から高圧まで使用可能なポペット摺動タイプの逆止弁
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高純度ガス系 リプレイサブルシート バルブ『KD-E』
シートとダイヤフラムを交換可能なダイヤフラムバルブです。バルブを頻繁に交換・洗浄する用途に好適!ランニングコストの低減を実現
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ベローズバルブ『SBB』
コンパクトでかつ高Cv値・耐久性を兼ね備えたパイプサイズのベローズバルブ!
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高純度液ガス用ダイヤフラムバルブ『WD』
半導体製造用の高純度液体材料に対応可能!ダイヤフラムバルブの高性能特性を持ったバルブ!
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加圧真空弁
高純度ガス用ベローズバルブ「SBBシリーズ」に真空用KFフランジ接続タイプをラインアップ!
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【ベローズバルブ】可変流量バリアックタイプ
全開流量を任意に設定できるベローズバルブです。配管レイアウトの簡素化、及び省スペース化、コストの削減が可能!
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【ニードルバルブ】流量調整ニードルタイプ
正確に微少な流量を設定可能!耐熱性に優れた高温・高耐食仕様のニードルバルブ
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ベローズバルブ『IB』
デッドスペースを小さくしパージ時間の短縮化を実現!ストレートタイプのベローズバルブ
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