高純度ガス系 2連3方バルブ(フリッカータイプ)
バルブボックス自体の省スペース化が可能! コンパクトなボディ部のデッドスペースを究極にまで少なくした複合バルブです。
『2連3方バルブ(フリッカータイプ)』は、当社の2連3方ブロック バルブのボディ部を更にコンパクトに設計し、デッドスペースを 究極にまで少なくした複合バルブです。 2つのバルブアクチュエーターはセンター部のボディを中心とし、 両側に水平対向した位置にレイアウト。 ダイヤフラム標準タイプの「KDシリーズ」から、コンパクトタイプの 「KCDシリーズ」、高圧タイプの「RDシリーズ」の各種バルブシリーズを ご用意しております。 【特長】 ■当社の2連3方ブロックバルブのボディ部を更にコンパクトに設計 ■2つのバルブアクチュエーターは両側に水平対向した位置にレイアウト ■コンパクト設計の為バルブボックス内のレイアウト設計が容易 ■バルブボックス自体の省スペース化が可能 ■形状が単純な為、ヒータージャケット、断熱材の設計が容易 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【ラインアップ】 ■ダイヤフラム標準タイプ「KDシリーズ」 ■コンパクトタイプ「KCDシリーズ」 ■高圧タイプ「RDシリーズ」 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途/実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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KITZ SCTは、金属加工技術や溶接技術に加え、広々としたクリーンな環境スペース、超精密洗浄システム、そして独自に開発した超精密研磨技術など、極めて幅広い技術をクロスオーバーさせ、真空から高圧システムまでの各種半導体製造用配管部品の開発製造から販売サービスまで行っています。 また、ISO規格、高圧ガス認定をはじめとし、厳重な品質管理システムを取り入れ、素材の分析評価からプロセス/完成品に至るまでのあらゆる分析評価で総合的なクリーン化を目指し、常に時代のニーズにお応えしてまいります。