WET系樹脂バルブ『FCDシリーズ 自動バイパス弁付自動弁』

緊急時はバイパス弁も自動で遮断可能！薬液充填ラインなどで省スペース化に役立ちます

最終更新日 2025年03月18日

液だれ防止　WET系樹脂バルブ『FCDシリーズ サックバック弁』

ノズル先端からの液だれを防止！塗布工程や薬液充填工程等で、定量精度の向上に役立ちます

最終更新日 2025年11月26日

WET系樹脂バルブ『FCDNシリーズ 流量調整付自動弁』

全開流量を任意に設定可能！クリーンで使いやすい自動弁のご紹介

最終更新日 2025年11月26日

WET系樹脂バルブ『FCDNシリーズ バイパス付自動弁』

バイパス弁開度の調整で節水も可能！バルブ閉時にも流体の滞留を防ぎます

最終更新日 2025年11月26日

WET系バルブ『FCDNシリーズ 流量調整＋バイパス付自動弁』

流量設定、エア駆動開閉、バイパス流路の確保など1台3役の複合弁！

最終更新日 2025年11月26日

WET系樹脂バルブ『FCDNシリーズ』

クリーンで使いやすいWET系バルブ！特殊機能付きや200℃対応高温樹脂弁などをご用意

最終更新日 2025年11月26日

WET系樹脂バルブ『FCDT』（200℃対応高温樹脂弁）

自動弁はインジゲータ（開閉表示）を標準装備！　手動弁はLOTO（鍵）機構付で安全対策にも使用可能

最終更新日 2025年11月26日

【資料】半導体製造工場の装置、設備で使用されるバルブのご紹介

成膜からエッチング、洗浄まで！各工程で求められるバルブの条件と製品例を紹介

最終更新日 2026年04月07日