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高純度ガス系バルブ『TD/TCD(C-SEAL バルブ)』

1.125"C-SEAL対応 コンパクト設計のバルブ!誤作動防止LOTO機構付きもご用意!繰返し着脱でのシール性能を高めています

『TD/TCD(C-SEAL バルブ)』は、1.125" C-sealに対応する コンパクト設計されたバルブです。 1.125" C-seal用のサーフェスマウント向けとして手動・自動弁を 揃えており、手動弁は、90°回転ハンドルで、誤作動防止の LOTO機構付きもご用意。 ブロックとのシール部硬度はHv300に管理されており、繰返し着脱での シール性能を高めています。 【特長】 ■TD4シリーズのCv値は0.3 ■1.125" C-seal用のサーフェスマウント向けとして手動・自動弁を揃えている ■手動弁は90°回転ハンドルとなっており、誤作動防止のLOTO機構付きもある ■接ガス部は、Chrome richプロセスを施し、Cr/Fe>2.0を達成(オプション) ■ブロックとのシール部硬度はHv300に管理され、繰返し着脱でのシール性能を高める ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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基本情報

【製品グレード】 ■グレード:SEP ■ボディ材質:316LE ■内面粗度:Rz0.7μm以下 ■研磨:電解研磨仕上げ ■洗浄:脱脂洗浄+精密洗浄 ■梱包:2重 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯

納期

用途/実績例

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

高純度ガス系バルブ『TD/TCD(C-SEALバルブ)』

製品カタログ

取り扱い会社

KITZ SCTは、金属加工技術や溶接技術に加え、広々としたクリーンな環境スペース、超精密洗浄システム、そして独自に開発した超精密研磨技術など、極めて幅広い技術をクロスオーバーさせ、真空から高圧システムまでの各種半導体製造用配管部品の開発製造から販売サービスまで行っています。 また、ISO規格、高圧ガス認定をはじめとし、厳重な品質管理システムを取り入れ、素材の分析評価からプロセス/完成品に至るまでのあらゆる分析評価で総合的なクリーン化を目指し、常に時代のニーズにお応えしてまいります。

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