高純度ガス系 ZEROボリュームバルブ『ZCDシリーズ』
バルブ内のデッドボリュームを極限まで最小化！極めて良好なガス置換特性のダイヤフラムバルブです。リフト部（ASSY）は交換可能
『ZCDシリーズ』は、バルブ内の内容積（デッドボリューム）を極限まで 小さくして、ガスの置換特性を高めたダイヤフラムバルブです。 ダイヤフラムの真空閉鎖防止、およびオープン速度を向上させるために、 リフト（ASSY）部がダイヤフラムを強制リフトします。 また、リフト（ASSY）部はユーザーサイドで交換可能です。 【特長】 ■バルブ閉時にシートからメイン流路までのデッドボリュームを最小級に することで、極めて良好なガス置換特性となっている ■ダイヤフラムの真空閉鎖防止、およびオープン速度を向上させるために、 リフト（ASSY）部がダイヤフラムを強制リフトする ■リフト（ASSY）部はユーザーサイドで交換可能 ＃デッドスペース ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【製品材質】 ■ボディ：SUS316L、SUS316LE（二重溶解材） ■シート：PCTFE ■ダイヤフラム：コバルト合金 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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取り扱い会社
KITZ SCTは、金属加工技術や溶接技術に加え、広々としたクリーンな環境スペース、超精密洗浄システム、そして独自に開発した超精密研磨技術など、極めて幅広い技術をクロスオーバーさせ、真空から高圧システムまでの各種半導体製造用配管部品の開発製造から販売サービスまで行っています。 また、ISO規格、高圧ガス認定をはじめとし、厳重な品質管理システムを取り入れ、素材の分析評価からプロセス/完成品に至るまでのあらゆる分析評価で総合的なクリーン化を目指し、常に時代のニーズにお応えしてまいります。
