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SEMICON Japan2024出展

ケイエルブイ株式会社

ケイエルブイ株式会社

開催日：2024年12月11日(水)～13日(金) 開催場所：東京ビッグサイト　東展示棟　Hall 7 ご紹介製品 ・マスクアライナー、周辺露光、ステッパー向け高出力LED照射装置 ・半導体表面検査装置 ・動画撮影可能ハイパースペクトルカメラ ・小型分光器 ・LPP-EUV光源 ・レーザー励起白色光源（190～2500nm) ・VUV,X線領域対応　超高感度CCDカメラ ・プラズマ源 ・SC光源（スーパーコンティニューム光源）

  • 開催日時 2024年12月11日（水） ～ 2024年12月13日（金）
    10:00 ～ 17:00
  • 会場 東京ビッグサイト
  • 参加費 無料

関連製品情報

  • マルチスペクトルＬＥＤ光源装置　ALE/2

    同一波長のモジュールを複数搭載可能な高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大80W、水銀不使用、

    製品の特徴 ・超ハイパワーUV出力:最大80W(単一波長でも可) ・水銀不使用 ・LEDで高安定、ランニングコスト削減 ・内蔵するLEDを選択可能 ・365nm/385nm/405nm/435nm ・フィードバックコントロール制御による出力維持 ・純正の冷却システムを併せてご提供。既存システムへの統合可。

  • マルチスペクトルＬＥＤ光源装置　ALE/3

    高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大15W、水銀不使用、内蔵するLEDを選択可能

    製品の特徴 ・ハイパワーＵＶ出力:最大15W ・水銀不使用 ・LEDで高安定、ランニングコスト削減 ・内蔵するLEDを選択可能 ・単一波長：365, 385, 395, 405, 435 nm ・複数波長：365および405nm ・外付けの冷却装置不要で、新しいシステムや既存システムへの統合が容易

  • 超高出力　UV-LED照射器　ALE/1C

    最大50W 超高出力。水銀ランプに代わるLED照射器。ＵＶ硬化、半導体検査装置などに使用可能

    製品の特徴 ・超高出力（最大50 W） ・高安定性（クローズドループによる出力制御） ・低ランニングコスト（LED使用で長寿命：10,000 時間） ・水銀ランプと代替可能 ・外付け冷却 　

  • マルチスペクトルＬＥＤ光源装置　ALE/1

    高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大30W、水銀不使用、内蔵するLEDを選択可能

    製品の特徴 ・ハイパワーＵＶ出力:最大30W ・水銀不使用 ・LEDで高安定、ランニングコスト削減 ・内蔵するLEDを選択可能 365nm/385nm/405nm/435nm (オプションでVIS（470、520、620、660、690nm）、 NIR（730、770、810、850、970nm）など幅広い波長領域からLEDを選択できます。） ・閉ループ制御による出力 ・外付けの冷却装置不要で、新しいシステムや既存システムへの統合が容易

  • EUV光源

    高輝度・低デブリを実現したLPP-EUV光源

    ・飛散デブリの光学系への付着を低減 ・ターゲットの高速回転により安定したターゲット面を実現 ・最大 44 mW (13.5nm±1%)の出力を実現 (TEUS S-400)

  • Cubert_動画ハイパースペクトルカメラ ULTRIS X20

    350~1000nmのUVからNIRを1台でカバー。ライトフィールド技術を導入。高解像度のイメージングデータをご提供。

    ・測定波長範囲[nm]：350~1000nm ・波長チャンネル数：164 ・空間分解能（空間解像度）[px]410×410 ・視野角（FOV）：Typ.35° ・センサー：シリコンCMOS ・センサーサイズ[MP]：20

  • 動画ハイパースペクトルカメラ ULTRIS X20 Plus

    350~1000nmを1台でカバー。UAV用に特化して設計された高分解能、スナップショット型のハイパースペクトルカメラ。

    ・測定波長範囲[nm]：350~1000nm ・波長チャンネル数：164 ・パンクロマティック解像度：1880×1880 px、 ・スペクトル解像度：410×410px（168,100 スペクトル） ・視野角（FOV）：Typ.35° ・センサー：シリコンCMOS ・センサーサイズ[MP]：20

  • 動画ハイパースペクトルカメラ ULTRIS ５

    【OEMに好適】超小型・低価格。動画撮影ができるハイパースペクトルカメラ。

    【展示会出展情報】 ■展示会名：OPIE '23 ■日程：2023/4/19～4/21 ■会場：パシフィコ横浜 ■ブース番号：J-38 【製品基本情報】 ・測定波長範囲[nm]：450～850nm ・スペクトルバンド数：51 ・スペクトル解像度：Max. 290×275 [px]

  • 超高感度VUV,EUV,X線領域対応 CCDカメラ ALEX-i

    VUV、EUV、軟X線、硬X線領域に対応した超高感度のCCDカメラ

    ■製品モデル greateyes社のALEXシリーズは、解像度に応じて、 　1k1k 　2k2k 　2k2k plus 　4k4k の４つのランナップをご用意しています。 また、それぞれのラインナップでCCDのセンサータイプ 　-前面照射型CCD(FI) 　-背面照射型CCD(BI) 　-フリンジ抑制考慮ディープディプレッション型CCD(BI DD) 　-背面照射型CCD[高感度型](BI UV1) を用途に応じてお選びいただけます。

  • 超高感度VUV,EUV,X線領域対応CCDカメラ LOTTE-i

    【真空チャンバー内向け】超高感度VUV,EUV,X線領域対応 CCDカメラ

    ■製品モデル greateyes社のALEXシリーズは、解像度に応じて、 　1k1k 　2k2k 　2k2k plus 　4k4k の４つのランナップをご用意しています。 また、それぞれのラインナップでCCDのセンサータイプ 　-前面照射型CCD(FI) 　-背面照射型CCD(BI) 　-フリンジ抑制考慮ディープディプレッション型CCD(BI DD) 　-背面照射型CCD[高感度型](BI UV1) を用途に応じてお選びいただけます。

  • 波長可変光源　Hyperchromator

    広波長帯域[200nm~2000nm]、超高輝度、高安定

    【仕様】 光源（入力）：ISTEQ XWS-30/XWS-R　（モノクロメーターにダイレクトに接続可能） 出力光学系：ファイバー出力（SMA/FC接続：100～600umのコア径） 直接照射出力（スリット、コリメータオプションを使用） 波長領域：200～2000 nm 開口数：f/1.5・f/2 出力波長幅：1～10 nm FWHM 出力パワー：～800 μW(6 nmバンド幅 /400 μmファイバー使用時) 波長再現性：0.1 nm（Typ.) スキャン速度：40～100 nm/s インターフェース：USB、RS-232 サイズ：47 x 45 x 25 cm 重量：16 kg

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