磁気浮上型インテグレーテッドポンプ BPS-i2000
Better Pumps for Better Yields !
BPS-i2000は、半導体製造や化学プロセス向けの磁気浮上型ベアリングレスポンプです。モータとコントローラを一体化した構造で、配線工数を削減でき省スペース化を実現します。高流量・高圧力に対応し、より厳しいプロセス条件での送液を可能にしました。磁気浮上技術により、インペラが非接触で回転するため軸受やシールがなく、パーティクル発生やメンテナンス頻度を大幅に低減します。インペラおよびポンプケーシングには高純度PFAを採用し、優れた耐薬品性を備えています。高純度薬液の移送から大流量循環用途まで幅広いプロセスに対応し、半導体ウェットプロセスにも適しています。制御機能により、回転数を高精度かつ高速に制御できます。流量センサや圧力センサを組み合わせることでフィードバック制御を実現し、安定した流量制御・圧力制御を可能にします。また、流量や圧力の変化を継続的に監視することで、異常の早期発見や予防保全にも活用できます。 PLCインターフェースおよびRS485（Modbus RTU）通信に対応し、既存設備や上位システムとの接続が可能です。また、マルチポンプシステムと接続することで、複数台のポンプを効率的に制御・監視できます。
基本情報
【主な特徴】 ○ モータとコントローラを一体化したコンパクトな構造 ⇒ 配線工数を削減でき、省スペース化を実現 ○ よりパワフルで効率的な設計性能 ⇒ 大流量循環や高圧配管など、より厳しいプロセス条件での送液が可能に ○ 軸受やシールを使用しない磁気浮上構造 ⇒ パーティクル発生やメンテナンス頻度を大幅に低減 ○ 高純度PFAを採用 ⇒ 優れた耐薬品性を備え、高純度薬液の移送に対応 ○ 半導体ウェットプロセス向けに最適化 ⇒ 高純度薬液の循環・供給用途に適した設計 ○ 脈動のない安定した送液 ⇒ プロセスの再現性向上や安定した薬液供給に貢献 ○ 高精度な回転数制御 ⇒ 回転数を正確かつ高速に制御可能 ○ 流量・圧力のフィードバック制御が可能 ⇒ 流量センサや圧力センサを追加し、安定した流量制御・圧力制御を実現 ○ プロセスデータの常時監視が可能 ⇒ 異常の早期発見や予防保全に活用可能 ○ PLCおよびRS485（Modbus RTU）通信に対応 ⇒ 既存設備や上位システムとの接続が可能 ○ マルチポンプシステムに対応 ⇒ 複数台のポンプをネットワーク化し、効率的な制御・監視が可能
価格帯
納期
型番・ブランド名
BPS-i
用途／実績例
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取り扱い会社
レビトロニクスは、世界的な磁気浮上ベアリングレスモータ技術分野のリーダーで、医療分野における血液ポンプならびにエレクトロニクス産業(半導体・液晶・太陽電池)、ライフサイエンスおよび産業界の用途に超清浄流体移送やスラリー分を含む研磨剤移送のソリューションを提供しています。 特許技術により、モータと磁気軸受を単一のユニットの製品にしているので、コンパクトで高い信頼性、長寿命と厳しい環境でのクリーンな流体やスラリーを含んだ流体の移送に能力を発揮します。 レビトロニクスは、汚染の無い流体移送、混合又は流量制御を長期間にわたり要求される用途に理想的な解決策を提供します。 レビトロニクスの本社は、スイス連邦チューリッヒにあり、アメリカ、台湾に事務所を持ち各地域のサポートを行っています。