株式会社マコメ研究所 (MACOME) 本社・伊那工場 公式サイト

【半導体製造向け】高精度小型磁気スイッチ・センサー

ウェハ搬送における高精度な位置決めを実現。繰り返し精度±0.05μm。

半導体製造業界、特にウェハ搬送においては、位置決めの高精度化が求められます。ウェハの正確な位置決めは、製造プロセスの品質と歩留まりを左右する重要な要素です。微細なズレが、製品の不良や性能低下につながる可能性があります。当社の小型磁気スイッチ・センサーは、±0.05μmの繰り返し精度で、ウェハ搬送における高精度な位置決めを実現します。 【活用シーン】 ・ウェハ搬送ロボットの位置検出 ・精密位置決めが必要な製造装置 ・クリーンルーム内での使用 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・歩留まりの改善 ・安定した製造プロセスの実現

関連リンク - https://www.macome.co.jp/products/magnetic_sensors…

基本情報

【特長】 ・繰り返し精度±0.05μm ・保護構造IP67 ・小型設計(Φ3mm) ・非接触磁気検出方式 ・NPN/PNPトランジスターオープンコレクター出力 【当社の強み】 ・磁気センサーの専門メーカー ・長年の実績とノウハウ ・カスタム対応力 ・国内開発・製造 ・3年保証

価格帯

1万円 ~ 10万円

納期

~ 1週間

数量によって変動しますのでお問い合わせください。

型番・ブランド名

HS-320 高精度 0.05μ 非接触 精密位置決め 磁気センサー マコメ研究所

用途/実績例

マシニングセンターの高精度原点検出 超精密加工機の熱膨張補正用 リニアエンコーダーの原点検出器 XYステージや回転テーブルの原点検出器 高精度位置決め

小型磁気高精度位置決めセンサー「HS-120/HA-120」

製品カタログ

会社案内【マコメ研究所】A4バージョン

会社紹介資料

製品紹介 マコメ研究所 ダイジェスト版

製品カタログ

取扱説明書 HA-120 マコメ研究所

取扱説明書(マニュアル)

CADデータ(10)

型番 概要 ファイル
HS-321+D-320 原点位置のセンターを高精度に検出するための高精度位置決めセンサー PNP出力
  • 2D zip ( 246KB)
HS-321+D-320 原点位置のセンターを高精度に検出するための高精度位置決めセンサー PNP出力
  • 3D zip ( 955KB)
HS-320+D-320 原点位置のセンターを高精度に検出するための高精度位置決めセンサー NPN出力タイプ
  • 2D zip ( 246KB)
HS-320+D-320 原点位置のセンターを高精度に検出するための高精度位置決めセンサー NPN出力タイプ
  • 3D zip ( 955KB)
MG-210 LS・FS用 発磁体
  • 2D zip ( 175KB)
MG-210 LS・FS用 発磁体
  • 3D zip ( 457KB)
MG-220 LS・FS用 発磁体
  • 2D zip ( 173KB)
MG-220 LS・FS用 発磁体
  • 3D zip ( 318KB)
D-320 HS-320・HS-321用ヘッドフォルダー
  • 2D zip ( 177KB)
D-320 HS-320・HS-321用ヘッドフォルダー
  • 3D zip ( 478KB)

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取り扱い会社

オリジナル技術である可飽和コイルを利用した、原理的にシンプルな磁気検出素子技術により、悪条件下でも高精度で長期間安定してお使い頂けます。無人搬送台車や産業機器、省力化機械を中心に、マテハン、工作機械、射出成形機・土木建築建設ロボット、食品機械、産業機械、原子力設備、船舶といった幅広い業界から厚いご支持を頂いております またF1やMoto GPといったモータースポーツ向けセンサーや、建設機械向けの傾斜計、科学分野では超高精度計測に用いる磁気センサーも得意としています。立体駐車場・ゴルフカート誘導センサーなども一部採用頂いております。100%日本国内で開発・製造しており、製品ラインナップの8割以上はお客様の個別のご要望に基づく特注品です 防水・防爆・耐熱・耐水・耐放射線仕様など特注対応品も多数あります センシング・測定で何かお困りごとがございましたら是非ご相談ください IoTプラットフォーム 既存品の軽微なカスタムから新しい検出原理のご提案まで、営業・技術スタッフが全力で対応します。カイゼンのお手伝いもお任せください 標準品につきましては安心の3年保証です。所在地長野県 伊那 イプロスものづくり 掲載