冷凍機、冷凍機応用製／真空装置関連

（１）マック・クライオ（混合冷媒二元冷凍機）真空装置排気用クライオパネルの冷却装置冷却温度：～-120℃ （２）冷温媒ユニット（ブライン冷却・加熱装置）真空蒸着装置用ロールコーターの冷却加熱装置温度制御範囲：-20～+200℃ （３）マック・ウルトラチラー（混合冷媒一元冷凍機）真空装置排気用クライオパネルの冷却装置冷却温度：～-150℃