光学式 3D表面形状測定機【測定事例進呈】
100×100mmを最短1分／nmオーダーで測定■粗さ・輪郭・真直／平坦度・断面積・体積等
MarSurf CP／CL は往復移動時の双方向スキャンによって 測定スピードを高めた非接触式の3D表面形状測定機です。 ■MarSurf CP 6nm(Z方向)・1μm(X方向)の高分解能、ワーキングディスタンス 70mmで、 表面に高低差のあるワークにも対応 ■MarSurf CL 高速ラインセンサを搭載 0.02μm(Z方向)・1μm(X方向)の高分解能で 100×100mmサイズを約1分という短時間で測定 【特長】 ■表面粗さ・輪郭・真直度・断面積・平坦度・体積などの測定に ■グラナイト製のベースを採用し、大型で重いワークにも対応 ■全自動測定でスキルに依存しない高速測定が可能(CP) ■微小な傷の検出や極小部位の測定に好適(CL) 【評価項目例 3D／2D】 ・表面粗さ(R) ・断面粗さ(S) ・輪郭 ・真直度 ・断面積 ・層厚 ・反り/平坦度 ・形状 ・体積／摩耗 ※測定事例集 随時更新 「PDFダウンロード」よりご覧ください
基本情報
【最新測定事例集】 ■燃料電池 - バイポーラプレート - ボアホール - シーリング - メンブレン ■自動車 パーツ - シール面 - クランクシャフト - ピストンリング - インジェクターノズル - ラック - ベアリングシェル - ボールベアリング - オートワインダー - アルミニウム押出品 - 射出成形部品 - リフレクター - 燃料ライン ■自動車 外装 - コーティング - シートメタル ■自動車 内装 - レザー - プラスチック ■エレクトロニクス - BMGはんだボール - プリンテッドエレクトロニクス - SMD - MEMS - マイクロレンズ - パッド - ボンディング - ダイアタッチ 【既存 測定事例集】 自動車部品、鉄鋼業界、切削工具、燃料電池、太陽光パネル、 電子部品／半導体、医療用高精密部品、印刷、レンズ ※当社ではお客様のニーズに応じたソリューション提案も行っています。 製品・部品の形状測定でお困りの方はお気軽にご相談ください。
価格情報
※PDFダウンロード時に表示される『興味を持ったきっかけ』の欄は株式会社イプロスのAIによって表示されております。
価格帯
1000万円 ~ 5000万円
納期
応相談
納期についてはお問い合わせください。
型番・ブランド名
光学式 3D表面形状測定機 ／ MarSurf CP、 MarSurf CL
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ラインアップ（2）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| MarSurf CP select | 様々な製品の品質管理に適した、光学式3D表面形状測定機。 測定・解析の自動化に対応。 測定対象物にキズをつけない非接触測定。 大型／重い測定物や、高低差が大きい測定物に対応。 光沢のある表面（層厚測定・透明試料）の測定も可能です。 |
| MarSurf CL select | 大型の測定対象物の超高速かつ高精度な表面形状測定を実現。 サイズ 100mm × 100mm を最短1分で測定。 測定・解析の自動化に対応。 測定対象物にキズをつけない非接触測定。 大型／重い測定物に対応。 光沢のある表面（層厚測定・透明試料）の測定も可能です。 |
カタログ（4）
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この製品に関するニュース（3）
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【New!! 2022年秋版 最新測定事例集をリリース】光学式3D表面粗さ・輪郭形状測定機「エレクトロニクス&半導体編 2022秋」：世界のエレクトロニクス・半導体業界で採用された測定事例をご覧頂けます。
【『MarSurf CP/CL・CMシリーズ』最新測定事例集進呈中！】 CLは高速ラインセンサを搭載。 Z方向0.02μmの高分解能で100×100mmサイズを約1分で測定。 CPは Z方向6nmの高分解能。 ワーキングディスタンス 70mmで、表面に高低差のあるワークにも対応。 CMはポータブル型を含む共焦点顕微鏡。 2nmの高分解能をもち、大型・動かせないワークにも好適。 ■評価項目例 3D／2D： ・表面粗さ(R)・断面粗さ(S)・輪郭・真直度 ・断面積・層厚・反り/平坦度・形状・体積／摩耗 ■掲載測定事例 ウエハー（反り・バンプ・研磨） CMPパッド（受け入れ検査・製造ライン上での検査） ウエハーレベルレンズ・ウエハーレベルオプティクス（寸法・体積） マイクロレンズアレイ（幾何形状） ダイアタッチ（ボンドライン厚・ダイ／エポキシの高さ・輪郭解析） BGAはんだボール（径・高さ・共平面性） マイクロビア ワイヤーボンディング（ボール/パッド/ワイヤの幾何形状） MEMS（粗さ・反り） 表面実装部品（コンタクトの共平面性） フィルム厚み
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【New!! 2022年最新版測定事例集をリリース！】光学式3D表面形状測定機：世界の自動車産業で採用された燃料電池／パーツ／外装／内装／エレクトロニクスに関する事例をご覧頂けます
【『MarSurf CP/CL』最新測定事例集進呈中！】 CLは高速ラインセンサを搭載。 Z方向0.02μmの高分解能で100×100mmサイズを約1分で測定。 CPは Z方向6nmの高分解能。 ワーキングディスタンス 70mmで、表面に高低差のあるワークにも対応。 ■評価項目例 3D／2D： ・表面粗さ(R)・断面粗さ(S)・輪郭・真直度 ・断面積・層厚・反り/平坦度・形状・体積／摩耗 ■掲載測定事例： 燃料電池 - バイポーラプレート - ボアホール - シーリング - メンブレン エレクトロニクス - BMGはんだボール - プリンテッドエレクトロニクス - ダイアタッチ - SMD - MEMS - マイクロレンズ - パッド - ボンディング 自動車 パーツ - シール面 - クランクシャフト - ピストンリング - 燃料ライン - インジェクターノズル - ラック - ベアリングシェル - ボールベアリング - オートワインダー - アルミニウム押出品 自動車 外装・内装 - コーティング - シートメタル - レザー - プラスチック
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■最新測定事例【タイヤ・アスファルト編】進呈中■ 共焦点顕微鏡『MarSurf CM 』三次元表面形状測定機『MarSurf CP/CL』による測定事例【タイヤ・アスファルト編】をリリース！
■共焦点(コンフォーカル)顕微鏡『MarSurf CM 』■ コンフォ―カルマルチピンホール技術を採用。 従来の共焦点顕微鏡の約7倍の速さで画像測定を行います。 ー『MarSurf CM mobile』 本体重量わずか5kgのモバイル型。大型の測定物、移動が困難なワークに。 ➡サンプルを切り出す事なく、直置きで高精度に表面測定。 車体等の塗装面、金属ローラー、シートメタル…など。 ➡サンプルの準備から測定までにかかる時間と手間を大幅削減。 ・粗さ、輪郭、形状、体積、平面度。 ・ナノメートル単位の高分解能。 ・接触式測定法と99％の相関性 ■三次元表面形状測定機『MarSurf CP/CL』■ 往復移動時の双方向スキャンによって測定スピードを高めた非接触タイプ。 ー『MarSurf CP』 表面に高低差のあるワークに。測定・解析の自動化も可能。 ー『MarSurf CL』 高速ラインセンサ搭載。 0.02μm(Z方向)・1μm(X方向)の高分解能で100×100mmサイズを約1分で測定。
取り扱い会社
ノギスから光学式3D表面形状測定機、カスタマイズド全自動測定ステーションまで。 Mahrは160年の歴史を持つ、製造業向け精密測定機器の総合メーカーです。 自動車・航空宇宙・産業機械・半導体・光学部品などをはじめとした製造業では、 開発・生産・品証においてますます高い精度が要求されています。 製造業向け精密測定機器業界の世界的なアプリケーションスペシャリストとして、 Mahrはお客様の測定タスクに対応する最新のソリューションをご提案いたします。 多様化する素材や複雑な形状、工場自動化／省人化など、 測定に関する問題を解決し、お客様個別の測定事例に対応します。 【主な事業所】 ドイツ ：Göttingen・Esslingen・Jena チェコ ：Probostov アメリカ：Providence 中国 ：Suzhou
