レンズ測定：光学式3D形状粗さ測定機MarSurf CMシリーズ
レンズを高速かつ高精度に解析出来る共焦点顕微鏡■車載用マイクロレンズ■マイクロレンズアレイ■ウエハーレベルレンズなど実績多数
【OPIE’23にて製品紹介予定！ @パシフィコ横浜 2023年4月19日~21日】 ＜光学産業のアプリケーション例＞ ■マイクロレンズアレイの幾何形状 ■ウエハーレベルレンズの寸法・体積測定 → 測定時間：1レンズに付き4秒 →測定物設置後は全自動測定＆全自動評価 ■車載用 LiDAR のマイクロレンズの面精度（PV、RMS） ＜特長＞ ◆粗さ（ISO 4287、13565、25178）、トポグラフィー、 輪郭／形状、細孔、粒子分析、欠陥検出 ◆ナノ単位の3Dデータ取得が最短7秒 ◆鏡面仕上げのワークや全数検査も高速測定 ◆振動に強く、白色干渉計では測定が難しい環境にも対応
基本情報
＜多彩なラインナップ＞ 卓上タイプ、カスタマイズ可能なタイプ、ポータブルタイプ※など、お客様のニーズに合わせて選定頂けます。 ※ポータブル型の特長 ◆大型・移動できない測定物を直接測定（カットサンプル不要） ◆セッティングの手間・時間を削減 ＜高速測定＞ 従来比約７倍の測定スピード！ コンフォ―カルマルチピンホール技術（CMP）の採用により、 従来の共焦点顕微鏡の約7倍の速さで画像測定が可能となります。 ＜多用途＞ 粗さ、輪郭、形状、体積、平面度の計測が可能です。 測定室でのnメーター精度や、自動検出を使用した製造ラインでの欠陥検出など 様々な用途に使用頂けます。 ＜接触式測定法と99％の相関性＞ アメリカ国立標準技術研究所（NIST）規格SRM2460による測定結果より、接触式と当機種の測定結果は99％という最も高い相関性を示しました。
価格帯
納期
用途／実績例
＜光学産業のアプリケーション例＞ ■マイクロレンズアレイの幾何形状 ■ウエハーレベルレンズの寸法・体積測定 → 測定時間：1レンズに付き4秒 →測定物設置後は全自動測定＆全自動評価 ■車載用 LiDAR のマイクロレンズの面精度（PV、RMS） ＜特長＞ ◆粗さ（ISO 4287、13565、25178）、トポグラフィー、 輪郭／形状、細孔、粒子分析、欠陥検出 ◆ナノ単位の3Dデータ取得が最短7秒 ◆鏡面仕上げのワークや全数検査も高速測定 ◆振動に強く、白色干渉計では測定が難しい環境にも対応
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この製品に関するニュース（2）
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【OPIE'26出展】レンズ測定：光学式3D形状粗さ測定機 MarSurf CM mobile
光学式3D形状粗さ測定機 MarSurf CM mobileは、 レンズを高速かつ高精度に解析出来る共焦点顕微鏡です。 ■『光学式3D形状粗さ測定機 MarSurf CM mobile』を OPIE’26（2026年4月22～24日@パシフィコ横浜） 株式会社マブチ・エスアンドティー様ブースにてご覧頂けます！ レンズ設計・製造展：ブースNo.【 I-32 】へ是非ご来場ください。 ■光学産業のアプリケーション例 ◎マイクロレンズアレイの幾何形状 ◎ウエハーレベルレンズの寸法・体積測定 → 測定時間：1レンズに付き4秒 →測定物設置後は全自動測定＆全自動評価 ◎車載用 LiDAR のマイクロレンズの面精度（PV、RMS） ■特長 ◎粗さ（ISO 4287、13565、25178）、トポグラフィー、 輪郭／形状、細孔、粒子分析、欠陥検出 ◎ナノ単位の3Dデータ取得が最短7秒 ◎鏡面仕上げのワークや全数検査も高速測定 ◎振動に強く、白色干渉計では測定が難しい環境にも対応
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【New!! 2023年春版 最新測定事例集をリリース】光学式 3D表面形状測定機『Marsurf CP/CL・CM』：世界の光学産業で採用された測定事例をご覧頂けます。
【『MarSurf CP/CL・CMシリーズ』最新測定事例集進呈中！】 ＜掲載測定事例／光学部品編 2023春編＞ ■ウエハーレベルレンズ／オプティクス（寸法・体積測定） ■マイクロレンズアレイ（幾何形状） ■車載用 LiDAR のマイクロレンズ（面精度（PV、RMS）） ■マイクロレンズ（設計図に対する形状検査） ■非球面マイクロレンズ（マスターとレプリカの比較） 他 CLは高速ラインセンサを搭載。 Z方向0.02μmの高分解能で100×100mmサイズを約1分で測定。 CPは Z方向6nmの高分解能。 ワーキングディスタンス 70mmで、表面に高低差のあるワークにも対応。 CMはポータブル型を含む共焦点顕微鏡。 2nmの高分解能をもち、大型・動かせないワークにも好適。 評価項目例 3D／2D： ・表面粗さ(R)・断面粗さ(S)・輪郭・真直度 ・断面積・層厚・反り/平坦度・形状・体積／摩耗
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取り扱い会社
ノギスから光学式3D表面形状測定機、カスタマイズド全自動測定ステーションまで。 Mahrは160年の歴史を持つ、製造業向け精密測定機器の総合メーカーです。 自動車・航空宇宙・産業機械・半導体・光学部品などをはじめとした製造業では、 開発・生産・品証においてますます高い精度が要求されています。 製造業向け精密測定機器業界の世界的なアプリケーションスペシャリストとして、 Mahrはお客様の測定タスクに対応する最新のソリューションをご提案いたします。 多様化する素材や複雑な形状、工場自動化／省人化など、 測定に関する問題を解決し、お客様個別の測定事例に対応します。 【主な事業所】 ドイツ ：Göttingen・Esslingen・Jena チェコ ：Probostov アメリカ：Providence 中国 ：Suzhou