レンズ測定：光学式3D形状粗さ測定機MarSurf CMシリーズ
レンズを高速かつ高精度に解析出来る共焦点顕微鏡■車載用マイクロレンズ■マイクロレンズアレイ■ウエハーレベルレンズなど実績多数
【OPIE’23にて製品紹介予定！ @パシフィコ横浜 2023年4月19日~21日】 ＜光学産業のアプリケーション例＞ ■マイクロレンズアレイの幾何形状 ■ウエハーレベルレンズの寸法・体積測定 → 測定時間：1レンズに付き4秒 →測定物設置後は全自動測定＆全自動評価 ■車載用 LiDAR のマイクロレンズの面精度（PV、RMS） ＜特長＞ ◆粗さ（ISO 4287、13565、25178）、トポグラフィー、 輪郭／形状、細孔、粒子分析、欠陥検出 ◆ナノ単位の3Dデータ取得が最短7秒 ◆鏡面仕上げのワークや全数検査も高速測定 ◆振動に強く、白色干渉計では測定が難しい環境にも対応
基本情報
＜多彩なラインナップ＞ 卓上タイプ、カスタマイズ可能なタイプ、ポータブルタイプ※など、お客様のニーズに合わせて選定頂けます。 ※ポータブル型の特長 ◆大型・移動できない測定物を直接測定（カットサンプル不要） ◆セッティングの手間・時間を削減 ＜高速測定＞ 従来比約７倍の測定スピード！ コンフォ―カルマルチピンホール技術（CMP）の採用により、 従来の共焦点顕微鏡の約7倍の速さで画像測定が可能となります。 ＜多用途＞ 粗さ、輪郭、形状、体積、平面度の計測が可能です。 測定室でのnメーター精度や、自動検出を使用した製造ラインでの欠陥検出など 様々な用途に使用頂けます。 ＜接触式測定法と99％の相関性＞ アメリカ国立標準技術研究所（NIST）規格SRM2460による測定結果より、接触式と当機種の測定結果は99％という最も高い相関性を示しました。
価格帯
納期
用途／実績例
＜光学産業のアプリケーション例＞ ■マイクロレンズアレイの幾何形状 ■ウエハーレベルレンズの寸法・体積測定 → 測定時間：1レンズに付き4秒 →測定物設置後は全自動測定＆全自動評価 ■車載用 LiDAR のマイクロレンズの面精度（PV、RMS） ＜特長＞ ◆粗さ（ISO 4287、13565、25178）、トポグラフィー、 輪郭／形状、細孔、粒子分析、欠陥検出 ◆ナノ単位の3Dデータ取得が最短7秒 ◆鏡面仕上げのワークや全数検査も高速測定 ◆振動に強く、白色干渉計では測定が難しい環境にも対応
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この製品に関するニュース（2）
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【OPIE'26出展】レンズ測定：光学式3D形状粗さ測定機 MarSurf CM mobile
光学式3D形状粗さ測定機 MarSurf CM mobileは、 レンズを高速かつ高精度に解析出来る共焦点顕微鏡です。 ■『光学式3D形状粗さ測定機 MarSurf CM mobile』を OPIE’26（2026年4月22～24日@パシフィコ横浜） 株式会社マブチ・エスアンドティー様ブースにてご覧頂けます！ レンズ設計・製造展：ブースNo.【 I-32 】へ是非ご来場ください。 ■光学産業のアプリケーション例 ◎マイクロレンズアレイの幾何形状 ◎ウエハーレベルレンズの寸法・体積測定 → 測定時間：1レンズに付き4秒 →測定物設置後は全自動測定＆全自動評価 ◎車載用 LiDAR のマイクロレンズの面精度（PV、RMS） ■特長 ◎粗さ（ISO 4287、13565、25178）、トポグラフィー、 輪郭／形状、細孔、粒子分析、欠陥検出 ◎ナノ単位の3Dデータ取得が最短7秒 ◎鏡面仕上げのワークや全数検査も高速測定 ◎振動に強く、白色干渉計では測定が難しい環境にも対応
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【New!! 2023年春版 最新測定事例集をリリース】光学式 3D表面形状測定機『Marsurf CP/CL・CM』：世界の光学産業で採用された測定事例をご覧頂けます。
【『MarSurf CP/CL・CMシリーズ』最新測定事例集進呈中！】 ＜掲載測定事例／光学部品編 2023春編＞ ■ウエハーレベルレンズ／オプティクス（寸法・体積測定） ■マイクロレンズアレイ（幾何形状） ■車載用 LiDAR のマイクロレンズ（面精度（PV、RMS）） ■マイクロレンズ（設計図に対する形状検査） ■非球面マイクロレンズ（マスターとレプリカの比較） 他 CLは高速ラインセンサを搭載。 Z方向0.02μmの高分解能で100×100mmサイズを約1分で測定。 CPは Z方向6nmの高分解能。 ワーキングディスタンス 70mmで、表面に高低差のあるワークにも対応。 CMはポータブル型を含む共焦点顕微鏡。 2nmの高分解能をもち、大型・動かせないワークにも好適。 評価項目例 3D／2D： ・表面粗さ(R)・断面粗さ(S)・輪郭・真直度 ・断面積・層厚・反り/平坦度・形状・体積／摩耗
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取り扱い会社
Mahrは160年以上にわたり、長さ・形状・表面性状測定の分野で世界のものづくりを支えてきたドイツ発の精密測定機器メーカーです。 ノギスやマイクロメータなどの汎用測定機器から、接触式・光学式表面粗さ形状測定機、カスタマイズされた自動測定システムまで、幅広い測定ソリューションを提供しています。 自動車、航空宇宙、工作機械、半導体、医療機器、光学部品など高度な品質管理が求められる製造業において、開発・生産・品質保証の各工程を支援します。 高精度化、多様化する材料や複雑な形状への対応、自動化・省人化といった課題に対し、最適な測定技術をご提案します。 また、機器の提供にとどまらず測定アプリケーションの構築から校正・保守サービス、自動化システムの導入までご相談ください。 豊富な実績とグローバルな技術力を活かし、お客様の品質向上、生産性向上、そして競争力強化に貢献します。