バーンインチャンバー
ミクロンからサブミクロンへ!Burn-in Chanberが追及する極限への信頼性
エスペックの『RBC』は、世界の半導体検査分野において認められている バーンインチャンバーです。 高密度デバイスのバーンインにも、優れた温度分布性能と許容発熱不可特性を 備え、発熱負荷4kW/at+125℃において±3℃を実現。 お客様のご要望にあわせて自動ボード挿抜や自動扉、生産システムの ネットワーク(RS-232C)など様々なニーズにお応えできるFA対応の オプションをご用意しています。 【特長】 ■4kWの発熱負荷にも優れた温度分布性能 ■大容量化とコンパクト設計 ■FA対応への豊富なオプション ■幅広い用途にお応えできるバリエーション ■「環境Friendly」への対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【計装機能】 ■モニタモード ■定値設定モード ■警報設定モード ■メンテナンス設定モード ■通信機能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
型番・ブランド名
『RBC』エスペック
用途/実績例
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