レジン・ペーストコーター
パワーデバイス、MEMS、超小型電子部品製造の塗布工程に適している！
『レジン・ペーストコーター』は、狙いの位置へ、必要量を、 無駄なく塗布する、Twin-airディスペンサを搭載している製品です。 対応ワークは、4～12インチ各種ウエハ、チップレベル、ガラス基板、 セラミック基板、樹脂フィルム、金属基板などです。 また、ポリイミド、高粘度レジスト、その他高粘度液剤、はんだペースト、 ソルダーレジスト、フラックスにも対応します。 【パフォーマンス】 ■全面塗布、チップ・マーキング、L/S描画 ■ダム構造形成、ドット塗布、局所コート/封止 ■エッジカット設定、ノッチを避ける塗布を実現 ■液剤のはみ出し無し～サイド＆バックリンス不要 ■塗布領域/パターン形状のCADデータインポート ■最大膜厚100μm、最小50μm幅/Φ50μm ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【仕様(抜粋)】 ■WLシリーズ(ウエハ、基板レベル) ・ノズル内径サイズ(μm)：25、40、70、100、150、200(標準)、300～1000(特注) ・対応可能基板：6～12インチウエハ、300mm角以下の各種基板 ・X-Yステージ駆動：ACサーボモータ ボールネジ、またはリニアモータ) ・ローダー/コンベア：オプション(特注対応可) ・プリアライナー：オプション(ウエハ用) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
型番・ブランド名
エンジニアリング・ラボ
用途／実績例
【アプリケーション例】 ■ウエハレベル ■チップ(トレイ)レベル ■特殊形状への塗布 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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丸文通商 機械営業部門が選ばれる3つの理由 〇トータルソリューションの提供（商社SIerとしての機能） 要件定義から設計・製作・運用後の効果測定までをワンストップで支援。一般的な商社とは一線を画し、お客様に代わって最適なパートナー選定とプロジェクト管理を行い、カスタムメイドの自動化を実現します。 〇高度な技術支援とアフターサービス 専門知識を持つスタッフが、機器の据付、メンテナンス、校正、修理に迅速に対応。ダウンタイムを最小限に抑えるとともに、機器講習会や技術相談を通じて、導入後のパフォーマンス最大化を支えます。 〇ラボ環境のコンサルティング能力 電子顕微鏡（SEM）のデモサービスから、クリーンルームの施工、さらには研究業務を止めない「ラボ移転コンサルティング」まで。ハード・ソフトの両面から、安全で効率的な研究・生産環境をデザインします。 機械営業部のカバーエリア ： 北陸（福井県・石川県・富山県） 甲信（長野県・山梨県） および近県