三次元光屈折率・膜厚測定装置 プリズムカプラ SPA-3DR
試料のX軸・軸・Z軸の光屈折率を回転しながら測定!FPD用フィルムやSiO2等の3次元複屈折率測定に
基本情報
【特徴】 ○測定対象:透明フィルム、透明フィルム上の薄膜、石英、液体 ○搭載レーザー:405nm-1550nmの範囲で、4種まで搭載可能 ○複屈折率測定:X-Y軸間を、0.05°の精度で回転し、任意の位置で測定 ○多層薄膜:2層の光屈折率、膜厚を仮定値無しで個別に同時測定 【仕様】 ○光屈折率:1.0 -2.45±(0.001) at 405–1550nm ○回転テーブル:回転範囲:180°(分解能:0.05°) ○光屈折率温度依存測定:室温~150℃ ○膜厚検出範囲:0.4um-150um±(0.5%) ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
価格情報
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納期
用途/実績例
【用途】 ○FPD用フィルム、SiO2等の3次元複屈折率測定 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。