半導体関連装置・部材
半導体関連装置・部材
半導体関連装置・部材のご紹介です
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ポリパラキシレン蒸着成膜装置
ポリパラキシレン成膜に特化した装置です。メーカは35年以上、ヨーロッパでポリパラキシレン成膜及び装置販売を行ってきました。
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粒子用 ALD （原子層堆積）装置 / FORGE NANO社
粒子専用のALD（原子層堆積 Atomic Layer Deposition）装置 ナノスケールの粒子を成膜できます。
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PlasmaMAX Hollow Cathode プラズマCVD
最高品質を保ちつつ、基板幅と成膜速度を最大化することで、大量生産プロセスの最適化ができるように設計されています。
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ケミカルエッチング/テクスチャリング装置
全国で１，０００台以上の納入実績！太陽電池に最適なケミカルエッチング/テクスチャリング装置
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大面積イオンビーム照射装置
成膜せずにドーピングで物質の表面を改質！耐摩耗性の向上、耐疲労性の向上、摩擦力の減少に貢献します
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フラッシュランプアニーリング装置 FLA
半導体など各種材料に！数ミリ秒から数百ミリ秒の超短時間でアニーリング可能です
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CMPパッドコンディショナー
ダイアモンド砥粒と基板の分子レベルでの強固な化学的結合を達成！CMPプロセスでの使用に
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小型スパッタリング装置
コンパクト設計で省スペースを実現！大学や民間の研究室に最適なスパッタリング装置(研究者用価格)
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