大気圧用ラングミュアプローブ
世界で初めて大気圧で使用可能なラングミュアプローブの開発に成功しました。
・プラズマトーチ、アークプラズマのような大気圧、 熱プラズマのパラメータが測定可能な世界初のラングミュアプローブです。 ・冷却水システムにより、高温での使用が可能です。 ・12.5nsのステップ時間分解能で測定ができます。 (2012年11月現在、世界最速 ※当社調査による) ・サンプリングレートは、80MSPS(V,I)で、世界最速です。 (2012年11月現在、世界最速 ※当社調査による) ・自動リニアドライブシステムにより0.025mmのステップ 分解能にてプローブをプラズマへ移動でき、空間分布 が分析できます。 ・デポジションガスに効果的な自動プローブ先端クリーニング機構付。 プローブ先端の取替えも容易。 ・プローブシャフトのサイズは、カスタムが可能です。
基本情報
大気圧プラズマ、常圧プラズマ、熱プラズマの以下パラメータが測定できます。 -プラズマ密度 -イオンカレント密度 -電子温度 -浮遊電位 世界で初めて大気圧で使用可能なラングミュアプローブの開発に成功しました。
価格帯
納期
用途／実績例
・大気圧プラズマプロセスの開発、診断 ・殺菌、医療応用 ・核融合プラズマ、プラズマ推進
