プラズマクリーナ
試料にダメージを与えず、コンタミなしで真空チャンバーと試料をクリーニング致します。
基本情報
■0.1mTorrの低圧でプラズマに点火致します。 ■プラズマの発光がモニタリングできます。 ■自動でRFインピーダンスをマッチング致します。 ■自動でガス流量を制御可能。
価格帯
納期
型番・ブランド名
PIE Scientific LLC (アメリカ)
用途／実績例
電子顕微鏡 SEM,FIB,TEM,EBL,CD-SEM,EBR,EUVL, ALDや高圧チャンバー
試料にダメージを与えず、コンタミなしで真空チャンバーと試料をクリーニング致します。
■0.1mTorrの低圧でプラズマに点火致します。 ■プラズマの発光がモニタリングできます。 ■自動でRFインピーダンスをマッチング致します。 ■自動でガス流量を制御可能。
PIE Scientific LLC (アメリカ)
電子顕微鏡 SEM,FIB,TEM,EBL,CD-SEM,EBR,EUVL, ALDや高圧チャンバー
