高周波計測器
RF計測器 / チャンバー内のRFを高精度に測定が可能
・１％の精度で測定が可能。 ・1μsの時間分解能で測定が可能 ・単周波数のみでなく、複数の周波数が測定可能 （Ocye Poly Octiv Suite） ・イオンフラックスが測定可能 （Octiv Suite）
基本情報
Octiv Suiteは、RFの以下のパラメータを測定可能です。 ・電圧 ・電流 ・フェーズ ・ハーモニクス ・インピーダンス ・イオンフラックス ・Waveform reconstruction
価格帯
納期
型番・ブランド名
Impedans社
用途／実績例
エッチング、スパッタ、イオンプレーティング等のRFパラメータの測定。 RF供給電源の性能確認。
