アーク検知器
１usの分解能でアークを検知し、歩留り向上に貢献いたします。 パルスモニタとしても最適です。
・1usの高分解能で電流、電圧の振れ幅をモニタリングし、異常検知いたします。 ・RF電源、マッチングボックス間に容易にインストールすることが可能。 ・Ethernet Net(CAT)等で通信が可能です。
基本情報
・エッチング装置、CVD、スパッタ等の量産現場でのアーク検知、パルスモニターとして最適です。
価格帯
納期
用途／実績例
半導体ファウンドリの量産現場で、エッチング装置、CVD、スパッタ等のパルスモニター、アーク検知器として実績がございます。
