多層膜成膜装置 (ポリパラキシレン+ALD)
ポリパラキシレン(パリレン)とALD(原子層堆積法)による無機酸化物層を交互に積層します。
基本情報
・ポリパラキシレンは、絶縁性、バリア性、抗菌性、生体適合性に優れています。 ・プリカーサ: ポリ・パラエチレン, ポリ・クロパラエチレン, ポリ・ジクロロパラエチレン(材料も販売可能です) ・パリレンC(ポリ・パラエチレン)は生体適合性に優れており、FDA認証も取得しております。 ・成膜プロセス:コーティングは、専用の真空蒸着装置を用い、室温にて実施されます。ダイマーと呼ばれる固体の顆粒状原材料を真空下で加熱すると、気化してダイマー気体となります。 この気体が熱分解してダイマーが開裂し、モノマー形態になり、室温の蒸着チャンバ内で、このモノマー気体がすべての表面で重合し、薄く透明なポリマーフィルムが形成されます。
価格帯
納期
用途/実績例
☆医療機器用途: ステント 心臓支援装置 マンドレル & 成形型 カテーテル エラストマーシール 針 & 硬膜外プローブ 医療用電子機器 ☆エレクトロニクスコーティング用途: プリント回路基板・アセンブリ センサ LED MEMS コンデンサ ウエハ フェライトコア ビデオディスプレイ 金属部品 ☆防衛 / 航空宇宙コーティング用途: MEMS センサ 回路カードアセンブリ モーター部品 電源 バックプレーン エラストマー部品