粉末用イオン注入装置
IonPOWDERによる粉体の革新的な表面処理。 粉体へのイオン注入(Ion Implantation)で表面改質を実施。
特徴 ・多種のガスが使用可能(Ar, He, N2, O2, SiH4, 混合ガス) ・装置はレシピで動作可能 ・PVD(physical vapor deposition)機構も、増設できます。 プロセスの利点 低温表面処理:元の材料特性が保持されます。 コーティング不要:イオンが深部までで注入されるため、表面は剥がれません。 部品の形状を尊重:追加の加工が不要です。 精密で局所的な表面処理:プロセスの最適化が可能です。 サンプルの電気伝導性:問いません。絶縁材料も処理可能です。 環境:ドライプロセスなので、化学的な廃棄物はありません。 イオン注入の効果 鋼材:表面硬化(ステンレス鋼で4倍)、優れた耐摩耗性。 ステンレス316L:摩擦係数が1/2に、ピッチング耐性が10倍に向上。 アルミニウム:表面硬化(7倍)、摩擦係数の大幅な低減、高い腐食抵抗性。 銅および銅合金:酸化および摩耗に対する強い耐性、表面硬化(4倍)。 金:表面硬化(7倍)、密度の増加、電気めっき層の気孔率の大幅な低減。
基本情報
装置基本情報 粉体粒子のサイズ:数ミクロンから数センチ チャンバ容量:500 ml 電源:400 V/32A 周波数: 10 GHz/50W イオンエネルギー: 最大40 kV イオンカレント:最大15 mA 真空度: 10^-6 mbar イオンガンの数:1 装置寸法: L2600×W900×H2500mm 重量: 750kg 水冷システム: 付帯
価格帯
納期
型番・ブランド名
IonPowder100
用途/実績例
アプリケーション サーマルスプレイ:流動性の向上、密着性向上 追加で付与した性能:新しい合金、密度の増加、多孔性の減少 触媒:効率と選択性の向上、低い温度... 焼結:熱伝導率の増加、より良い凝集... 複合材料:相性向上、中空導電構造、導電性の増加... ionPOWDERシステムは、コネクタ、技術的なボール、固定システムなどの小さな散在部品にコーティングを施し、摩耗耐久性、熱および電気伝導性の向上、または単に装飾の目的で使用することを目指して開発されました。PVDやイオン注入などの低圧技術を用いることで、湿式工程や有毒物質なしで、絶縁体や熱感受性材料を含むあらゆる材料を処理することが可能です。この技術は非常に柔軟で、非常に高性能なコーティングの幅広いバリエーションにつながります。