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太陽電池関連装置・部材
その他成膜装置
半導体関連装置・部材
高機能フィルム製造用ロールコーター
他社との違いは、BOC社とのライセンスにより、回転式カソード(ターゲット使用効率70%)とSiOx(C)フィルムを特殊なCVDによって成膜可能です。またラインスピードを2000倍まで可変可能です。
高性能な透明導電フィルムや透明バリアフィルムを乾式(スパッタやCVDや蒸着)で製造するロールコーターです。
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英国・Valmet社製「OPTILAB]
透明導電フィルム、透明バリアフィルム、アルミ蒸着フィルム その他金属蒸着フィルム製造用に使用されております。
株式会社マツボー
ポリパラキシレン蒸着成膜装置
粒子用 ALD (原子層堆積)装置 / FORGE NANO社
PlasmaMAX Hollow Cathode プラズマCVD
ITOターゲット研磨代行サービス
複合型PVDコーティング装置
マツボーは【産機・情報】【粉体】の2つの事業分野と【テクニカルセンター】のバックアップ体制でサービスを提供しています。機械の専門商社の枠にとらわれず、導入に先立ってのコンサルティングから、設置・ローカライズにかかわるエンジニアリング、導入後のメンテナンスや改善・改造提案まで、お客様に安心してお使いいただくための一貫したサービス体制を整えています。
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