ホロカソードエッジング方式アークイオンプレーティングシステム
TiN, CrN, TiAlN等での表面改質に最適！
ワンチャンバーにホロカソードガン、アークイオンガン、スパッタガンの3ソースを搭載し、独立成膜可能。
基本情報
特徴 ●TiN, CrN, TiAlN等での表面改質に最適 ●ワンチャンバーにホロカソードガン、アークイオンガン、スパッタガンの3ソースを搭載し、独立成膜可能。研究開発用途に最適。 ●ホロカソードでの強エッジングにより界面密着力を強制的に向上させ、アークイオンもしくはスパッタで精密成膜。 ● ９０ ％以上のイオン化率 ● 高エネルギーのイオン蒸着 at アークイオン （６０−１００ｅＶ）
価格情報
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納期
型番・ブランド名
ＡＩＰＳ−８００
用途／実績例
用途 自動車、工具、電子部品、装飾品等のハードコーティング （ＤＬＣ， ＣｒＮ 等） 装飾部品のＴｉＮコーティング 工業部品のＴｉＮコーティング 工具のＴｉＡｌＮコーティング
