高分子の分子量がCMPスラリーの安定性に及ぼす影響
3種類のセリアスラリーを、TURBISCAN LABを用いて35℃で12時間分析した結果を解説
当資料では、高分子の分子量がCMPスラリーの安定性に及ぼす影響に ついてまとめてご紹介しております。 分散剤の分子量がCMPスラリーの安定性に及ぼす影響を分散安定性評価装置 「TURBISCAN」で評価した事例として原理、実験、結果などを掲載。 サンプルセルの高さ方向に対する透過光の経時変化や清澄層の厚みの経時変化など サンプル間の比較もご覧いただけます。 【掲載内容】 ■はじめに ■原理 ■実験 ■結果 ■まとめ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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