【半導体加工業界向け】水封式真空ポンプ「MEA」
【樹脂製水封式真空ポンプ】クリーンな真空環境を提供
半導体製造プロセスにおいては、クリーンな作業環境を維持することが重要となります。 当社水封式真空ポンプ「MEA」は、水封式を採用することで作業環境をクリーンに保ち、水滴・水蒸気を含んだ気体の吸引に好適です。 ミウラの水封式真空ポンプは、単に性能だけを追及したのではなく、何よりも、使いやすさにこだわって開発されました。 ポンプ内には、衛生的な樹脂ケーシングとステンレス製の二段インペラを採用。 吸引トラブルや破損に強い耐久構造になっています。 モータを直結した軽量コンパクトボディで省スペースにも効果的です。 【活用シーン】 ・半導体製造における固定用の真空源として ・クリーンな吸引環境が必要なプロセス ・水蒸気や水分を含む気体の吸引 【導入の効果】 ・省スペース化 ・クリーンな作業環境の維持
基本情報
【特長】 ■鋳鉄製真空ポンプよりも20％軽量で腐食リスクを排除 ■耐食性に優れており、モータ直結によりコンパクト ■水封式のため、オイルのコンタミやオイルミストが発生しない ■水滴・水蒸気を含んだ気体の吸引に好適 ■0.5kW～3.7kWの樹脂製真空ポンプを販売中 【当社の強み】 ミウラグループは、ボイラの開発で培ったノウハウを活かし、お客様の生産設備における課題解決をサポートしています。熱・水・環境のベストパートナーとして、長年の経験と技術に基づいた製品を提供し、お客様の省エネルギー化・省力化に貢献いたします。
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ミウラグループは、主力製品であるボイラ及び関連機器等の製造・販売と信頼のメンテナンス、 工場診断の高い技術を備え、お客様の生産設備における課題解決をお手伝いしています。 ミウラグループ、企業ブランド「MIURA」を世界に広め 世界の熱・水・環境のベストパートナー企業として、さらに成長するため 「熱・水・環境のベストパートナー」をコーポレート・ステートメントとして掲げております。 また、小型貫流ボイラ事業でのトップシェアの優位性をベースに エネルギー有効利用技術と水処理技術に加え、 環境関連技術を軸とした分野で、安全で有用な新製品やサービスを創出し、 お客様の省エネルギー化・省力化や地球環境の保全に貢献することで グローバル企業としての成長を目指します。 そして、企業価値の最大化を目指して透明性や効率性の高い経営に努め、 株主をはじめとするステークホルダーの皆様の期待と信頼にお応えするとともに、 健全な成長を図って企業の社会的責任を果たしていきたいと考えております。