2017年03月16日
一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
MSTホームページにて、下記分析事例2件を公開しました。 ・酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価(C0462) ・ウエハケース内ウエハの有機汚染評価(C0461) 詳細はMSTホームページをご覧ください。 http://www.mst.or.jp/
XAFSとXPSの複合解析によって高精度なバンドギャップ評価が可能
詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
製造プロセスおける有機汚染の原因や総量を評価できます
詳しいデータはカタログをご覧ください