【分析事例】酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価
XAFSとXPSの複合解析によって高精度なバンドギャップ評価が可能
薄膜試料のバンドギャップはこれまでUV-Vis・PL・XPSなどの分析手法で測定されてきましたが、材料・膜厚・基板などの試料構造の制約から評価可能なケースが限られていました。 今回、XAFSとXPSの複合解析によって、試料構造の制約を少なく、かつ従来よりも高精度なバンドギャップ評価が可能となりました。本手法は特に各種酸化膜・窒化膜の評価に対して有効です。 本資料では窒化シリコン（SiN）膜のバンドギャップ評価事例をご紹介します。 測定法：XAFS・XPS 製品分野：太陽電池・照明・酸化物半導体・パワーデバイス 分析目的：電子状態評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
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納期
用途／実績例
太陽電池・照明・酸化物半導体・パワーデバイスの分析です
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この製品に関するニュース（1）
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Technical information "Evaluation of Coating Film on Injection Needle Surface (C0468)" and two other items published.
We have published the following three analysis case studies on the MST website: - Evaluation of coating films on injection needle surfaces (C0468) - Analysis of organic fluorinated compounds (PFOS, PFOA, etc.) (C0469) - Analysis of nonylphenol ethoxylates in fibers (C0470) For more details, please visit the MST website. http://www.mst.or.jp/
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技術情報「酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価（C0462）」他、1件を公開
MSTホームページにて、下記分析事例2件を公開しました。 ・酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価（C0462） ・ウエハケース内ウエハの有機汚染評価（C0461） 詳細はMSTホームページをご覧ください。 http://www.mst.or.jp/
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