【測定法】SPM関連
【測定法】SPM関連
◆AFM（原子間力顕微鏡法） ◆SCM（走査型静電容量顕微鏡法） ◆SMM（走査型マイクロ波顕微鏡法） ◆SSRM（走査型広がり抵抗顕微鏡法） ◆SRA（広がり抵抗測定法）
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［AFM］原子間力顕微鏡法
ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測
最終更新日
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[SMM]走査型マイクロ波顕微鏡法
Scanning Microwave Microscopy
最終更新日
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［SSRM］走査型広がり抵抗顕微鏡法
ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可能
最終更新日
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［SCM］［SNDM］
キャリア分布を二次元的に可視化
最終更新日
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［SRA］広がり抵抗測定法
SRA：Spreading Resistance Analysis
最終更新日
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[MFM]磁気力顕微鏡法
MFMは、磁性膜でコートされたプローブを用いて、サンプル表面近傍に生じている漏洩磁場を測定し、磁気情報を得る測定手法です。
最終更新日
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【分析事例】液晶ディスプレイの劣化分析
液晶、配向膜、シール材、TFTなどを総合的に評価します。
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nanoTAによる局所熱特性評価
局所熱分析システム（Nanoscale Thermal Analysis ）
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【分析事例】加熱・冷却過程における経時変化のAFM動画観察
サンプル表面の形状変化をin situで評価
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【分析事例】ノーマリーオフ型GaN HEMT二次元電子ガス層評価
製品調査の複合解析をワンストップでご提案可能です
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【分析事例】GaN基板の表面形状分析
AFMによるステップ-テラス構造の可視化
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[PFM]圧電応答顕微鏡
導電性膜でコートされたプローブを用いサンプル表面に交流電圧を印加させることにより、サンプル表面を振動させ電気機械的情報を得ます
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[AFM-IR]AFM赤外分光分析
赤外分光法は、分子の振動による赤外線吸収を測定することで、分子構造の情報を得る手法です。
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[AFM-MA・DMA]機械特性評価(弾性率・動的粘弾性率)
AFM-MA、AFM-DMAは硬さに関して知見を得ることが可能な分析です。
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SThMによる局所熱伝導性評価
熱伝導性の情報から高分子の相分離構造を可視化することが可能です。
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【分析事例】全固体電池の分析
構造・組成・電気特性を組合せた総合的な分析評価
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【分析事例】二次電池正極の抵抗値およびLiの分布評価
電極断面の抵抗値分布、導通パスの可視化およびイオン分布との比較
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【分析事例】二次電池正極活物質の総合評価
開発課題の解決のために構造・組成・電気を組み合わせた評価を提案
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