【測定法】SPM関連
【測定法】SPM関連
◆AFM(原子間力顕微鏡法) ◆SCM(走査型静電容量顕微鏡法) ◆SMM(走査型マイクロ波顕微鏡法) ◆SSRM(走査型広がり抵抗顕微鏡法) ◆SRA(広がり抵抗測定法)
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[AFM]原子間力顕微鏡法
ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測
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走査型マイクロ波顕微鏡法_SMM
Scanning Microwave Microscopy
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[SSRM]走査型広がり抵抗顕微鏡法
ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可能
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[SRA]広がり抵抗測定法
SRA:Spreading Resistance Analysis
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[SCM][SNDM]
キャリア分布を二次元的に可視化
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【MFM】磁気力顕微鏡法
MFMは、磁性膜でコートされたプローブを用いて、サンプル表面近傍に生じている漏洩磁場を測定し、磁気情報を得る測定手法です。
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【分析事例】液晶ディスプレイの劣化分析
液晶、配向膜、シール材、TFTなどを総合的に評価します。
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nanoTAによる局所熱特性評価
局所熱分析システム(Nanoscale Thermal Analysis )
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【分析事例】加熱・冷却過程における経時変化のAFM動画観察
サンプル表面の形状変化をin situで評価
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【事例】ノーマリーオフ型GaN HEMT 二次元電子ガス層評価
製品調査の複合解析をワンストップでご提案可能です
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【分析事例】GaN基板の表面形状分析
AFMによるステップ-テラス構造の可視化
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