【分析事例】照明
【分析事例】照明
照明の分析事例をご紹介します
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【分析事例】照明用発光素子の総合評価
LEDの解体から蛍光体・LEDチップなど各材料の分析まで行います
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【分析事例】有機EL素子積層膜の膜密度・膜厚測定
X線反射率測定（XRR）で膜厚・密度の分析が非破壊で可能です
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【分析事例】劣化の激しい有機材料の状態評価
雰囲気制御下でのサンプリングで材料の正確な評価が可能です
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【分析事例】有機ＥＬ素子の成分分析
Slope面出し加工された有機多層構造試料のTOF-SIMS成分分析
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【分析事例】SIMSによるUVセンサAlGaN中不純物濃度度評価
様々なAl組成のAlGaN標準試料をラインアップ
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【分析事例】GCIB_Arクラスター有機材料劣化成分深さ方向分析
雰囲気制御下でのGCIBを用いた有機EL層構造および劣化層の成分評価
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【分析事例】化合物積層構造試料のSIMS分析
前処理により化合物層を選択的に除去してから分析が可能
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【分析事例】SIMSによるGaN系LED構造の組成分析
GaN系LEDの主成分元素の組成を深さ方向に評価可能
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マイクロサンプリング法
FIB：集束イオンビーム加工
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【分析事例】有機EL材料TOF-SIMSのRGB素子深さ方向分析
雰囲気制御下でのGCIB（Arクラスター）を用いた有機EL層構造・劣化層の評価
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【分析事例】化合物へテロ接合界面歪の可視化
FFTM法による格子像解析
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【分析事例】有機ELディスプレイの総合評価
構造把握・材料評価・劣化原因特定など各種手法を組み合わせて評価します
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【分析事例】TEM・SEM有機EL・ゲート酸化膜の断面観察
低加速STEM観察により、低密度な膜でもコントラストがつきます
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GC/MSを用いた発生ガス分析及び高分子材料の同定
熱分解GC/MSの原理とアプリケーションについて
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【分析事例】ポリイミド成分の深さ方向分析
TOF-SIMSによる高分子・樹脂・フィルムの表面改質層の深さ方向の評価が可能
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【分析事例】白色LEDのフォトルミネッセンス分析
白色LED中のチップ、蛍光体の発光特性の確認
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【分析事例】特殊形状試料のSIMS測定
固定方法の工夫により特殊な形状でも分析可能
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【分析事例】SSDP-SIMSによるSi基板Ga、Alの拡散評価
SSDP-SIMSによる高濃度層の影響を避けた測定
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【分析事例】テクスチャ付きGaN系LEDの元素分布評価
凹凸のある構造でも平坦化加工により深さ方向分布評価が可能
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【分析事例】SIMSによるGaN系LED不純物の深さ方向濃度分析
目的に応じた分析条件で測定します
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【分析事例】SiC基板の品質評価
結晶方位・面内欠陥分布・表面凹凸・不純物を評価
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【分析事例】GaN系LED構造中MgのSSDP-SIMS分析
裏面側からGaN系LED構造中の不純物プロファイルを取得可能
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【分析事例】SIMSによる化合物半導体の組成分析
化合物半導体の主成分元素の組成を深さ方向に評価可能
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定量計算における妨害ピーク除去処理
XPS：Ｘ線光電子分光法
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【分析事例】マイクロサンプリングツールを用いた異物分析
下地・基板の影響なく異物の成分を同定します
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低温フォトルミネッセンス測定の注意事項
PL：フォトルミネッセンス法
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【分析事例】XPSによるGaN膜の組成・結合状態評価
目的に合わせた測定条件で評価を行います
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ケミカルシフトによる金属酸化物の価数評価
XPS：X線光電子分光法
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有機膜材料の配向角評価
XAFS：X線吸収微細構造
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電子回折の種類と特徴
TEM：透過電子顕微鏡法
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