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【分析事例】SIMSによるUVセンサAlGaN中不純物濃度度評価

様々なAl組成のAlGaN標準試料をラインアップ

SIMS分析において、より確かな濃度定量値を算出するには測定サンプルと組成の近い標準サンプルを用いることが不可欠です。 紫外LEDやUVセンサに用いられるAlGaNについて、Al含有量に応じたAlGaN標準試料を幅広く取り揃えたことで、より高精度にAlGaN中不純物濃度を求めることができるようになりました。 UVセンサのSIMS分析を行い、ドーパントであるSi濃度を定量した事例を紹介します。

関連リンク - https://www.mst.or.jp/casestudy/tabid/1318/pdid/36…

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照明・光デバイスの分析です

【分析事例】SIMSによるUVセンサAlGaN中不純物濃度の高精度評価_C0232

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