【分析事例】XPSによるGaN膜の組成・結合状態評価
目的に合わせた測定条件で評価を行います
LEDやパワーデバイスに用いられるGaN膜について、XPSを用いて組成・結合状態を評価した例を紹介します。成膜条件や表面処理等により、組成や結合状態がどのように変わるのかを把握しておくことは、プロセス管理等に有効です。 評価の際は、目的に応じて使用するX線を適切に選択することが重要です。着目ごとの測定条件を併せてご紹介します。
基本情報
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用途／実績例
照明・ディスプレイ・酸化物半導体・パワーデバイス・光デバイスの分析です
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