RAE検出器を用いた大口径イメージングSIMS
SIMS：二次イオン質量分析法
水素やppmレベルの不純物の空間的な分布情報を得るにはイメージングSIMSが有効です。 投影型イメージングSIMS用のRAE（RAE：Resistive Anode Encoder）検出器を用いることで、一般的にイメージング分析に用いられる走査型と比較して大口径かつ深い領域まで分布像を得ることが可能です。
基本情報
詳しいデータはカタログをご覧ください
価格情報
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納期
応相談
用途／実績例
パワーデバイス・LSI・メモリの分析です
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取り扱い会社
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