【分析事例】製造装置・部品
【分析事例】製造装置・部品
製造装置・部品の分析事例をご紹介します
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【分析事例】TOF-SIMSによる部品表面シミ・水はじき原因調査
切断できない大きな部品でも表面汚染を適切にサンプリングして測定
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【分析事例】ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価
波形解析・Arスパッタによる結合状態の深さ方向分布評価
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【分析事例】SUS不動態皮膜深さ方向状態と酸化膜厚評価
TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能
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【分析事例】熱分解GC/MSによる空気中高温加熱時の発生ガス分析
酸素存在下での熱分解挙動の追跡が可能
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【分析事例】白色粉体の複合分析
FT-IR分析とXRF分析による粉体の同定
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【分析事例】TOF-SIMSによるフッ素系潤滑剤・高分子の同定
汚染成分を同定し、汚染発生工程を推定
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【分析事例】めっき・塗装等の剥離原因調査
TOFーSIMSによる剥離面の汚染源の特定
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【分析事例】熱履歴を考慮した異物の成分同定
熱履歴を揃えた標準試料の活用提案
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【分析事例】金属ワイヤー中の不純物評価
SEMと同等の視野で大気成分などの不純物の面内分布を可視化
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【分析事例】Si自然酸化膜の膜厚評価
光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり
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【分析事例】特殊形状試料のSIMS測定
固定方法の工夫により特殊な形状でも分析可能
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【分析事例】高分子フィルムの多層構造の解析
GCIBを用いた低ダメージスパッタリングで多層フィルムの層構造を明瞭に可視化
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定量計算における妨害ピーク除去処理
XPS：Ｘ線光電子分光法
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液体中の陰イオン濃度分析
IC：イオンクロマトグラフィー
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【分析事例】アクリル樹脂の定性
TOF-SIMS分析による成分の推定が可能です
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【分析事例】IC法によるSi含有溶液中のTMAH分析事例
IC（イオンクロマトグラフ）法でアミン類の測定が可能です
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【分析事例】マイクロサンプリングツールを用いた異物分析
下地・基板の影響なく異物の成分を同定します
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【分析事例】薄いカーボン膜の深さ方向分析
ダイヤモンドライクカーボン(DLC)やグラフェンの深さ方向分析が可能
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【分析事例】DLC膜のsp2/(sp2+sp3)比高精度定量化
XAFSによる高精度解析
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【分析事例】DLC膜のsp2/(sp2+sp3)比の評価
C1s波形解析を使用したsp2/(sp2+sp3)比の評価
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【分析事例】エッチングによる有機付着物除去
表面汚染を除去してXPSによる評価を行います
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ケミカルシフトによる金属酸化物の価数評価
XPS：X線光電子分光法
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電子回折の種類と特徴
TEM：透過電子顕微鏡法
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揮発性有機化合物（VOC）P&Tによる微量成分の検出
GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法
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【分析事例】高分子材料の添加剤評価
LC/MSによる成分の定性
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【分析事例】溶解再沈法による高分子材料の添加剤評価
LC/MS・LC/MS/MSによる成分の定性
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【分析事例】粉体異物の定性分析
手法を組み合わせることで、複数種類の成分情報を得ることが可能です
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ウエハ最表面の微量元素分析における前処理法
ICP-MS：誘導結合プラズマ質量分析法
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試料濃縮針による揮発性成分の濃縮分析
GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法
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【分析事例】表面酸化膜のある異物の状態評価
水酸化アルミニウムAl(OH)3と酸化アルミニウムAl2O3の評価が可能です
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