【分析事例】製造装置・部品
【分析事例】製造装置・部品
製造装置・部品の分析事例をご紹介します
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【分析事例】樹脂中に存在している異物の評価
試料の断面加工によりTOF-SIMSで樹脂中異物の評価が可能
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【分析事例】室内雰囲気中の腐食成分分析
インピンジャー捕集法による大気中イオン成分の分析が可能です
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ハートカットEGA法による発生ガス分析
GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法
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【分析事例】ノズル表面・内壁の組成評価
凹凸サンプルの組成分布評価が可能です
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EGA-MS法による発生ガス分析
GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法
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【分析事例】AES・SEM-EDXによるCu表面変色部の評価
SEM観察を行いながら検出深さの浅い元素分析が可能
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【分析事例】金属材料の蛍光X線分析事例
金属組成評価として、始めにXRF分析での元素スクリーニングをお勧めします
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代表的な材料・目的別のTDS解析例
TDS：昇温脱離ガス分析法
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Siウエハ表面の金属汚染評価
ICP-MS：誘導結合プラズマ質量分析法
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【分析事例】ウォーターマーク原因調査
TOF-SIMSを用いた最表面の汚染源の特定
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【分析事例】ウエハ表面の微小異物分析
加工無しで30nmサイズの組成分析が可能
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【分析事例】AES分析による積層試料の割断面評価
割断サンプルで50nm薄膜を可視化
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GC_MSによるウエハアナライザーを用いた有機汚染評価
GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法
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【分析事例】金属(Sn)の昇温脱離ガス分析
低融点金属のTDS分析
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【分析事例】SiN膜中の金属汚染分析
ICP-MSによる高感度分析
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GPCによる分子量分布測定
HPLC：高速液体クロマトグラフ法
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【分析事例】炭素材料のラマンマッピング
試料面内における炭素の結晶状態分布を評価可能です
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【分析事例】TDSによる腐食性ガス分析
製品に悪影響を及ぼすガスを確認できます
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【分析事例】液中AFM測定を用いた基板上の高分子の形状変化観察
大気中・水溶液中での試料構造変化の可視化
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GC/MSによる発生ガス濃縮装置を用いたアウトガス分析
GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法
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【分析事例】Ramanによる金属部材上の異物分析
微小領域を狙った測定が可能
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【分析事例】ウエハ表面の金属・有機物汚染評価
複数手法の分析結果より、複合的に評価
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【分析事例】XRFによるウエハ上Au薄膜の付着量評価
薄膜成分の付着量を試料間で比較
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【分析事例】XRFによるウエハ上Au薄膜の面内膜厚評価
多点マッピング測定により膜厚分布を可視化
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【分析事例】μm(ミクロン)オーダーのXPS深さ方向分析
数μmの深さまで深さ方向分析を行います
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【分析事例】TDSによるステンレス中水素脱離量の分析
TDS（昇温脱離ガス分析法）で金属中水素の脱離量の評価が可能です
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【分析事例】はんだボール表面の酸化膜評価
球体形状試料の評価事例
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【分析事例】溶液中の金属量分析
純水やウエハ洗浄液等、様々な溶液の高感度分析が可能です
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【分析事例】X線CTによる発泡ゴムの引っ張り試験
サンプル内部の形状変化をin situで測定・解析
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【分析事例】エポキシ樹脂のTDS分析
真空中での有機物からの脱ガス挙動を調査可能です
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