【測定法】電子分光法
【測定法】電子分光法
◆AES（オージェ電子分光法） ◆XPS（X線光電子分光法） ◆HAXPES（硬X線光電子分光法（Ga線/Cr線）） ◆UPS（紫外光電子分光法） ◆XAFS（X線吸収微細構造） ◆SXES（軟X線発光分光法）
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［UPS］紫外光電子分光法
試料表面の組成の定性・定量や仕事関数評価に
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［XAFS］X線吸収微細構造
XAFSは、物質にX線を照射することで得られる吸収スペクトルを解析する手法です
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［XPS］X線光電子分光法
試料表面（数nm程度の深さ）の元素の種類、存在量、化学結合状態評価に有効
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【分析事例】Cu表面のXPSによる酸化状態評価
Cuスペクトルの成分分離、定量、膜厚算出
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角度分解HAXPES測定
HAXPES：硬X線光電子分光法
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【分析事例】XPSによる抗菌コートの評価
各種表面処理を検証可能
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HAXPESによるオージェピークの重複を回避した評価
Ga線（HAXPES）およびAl線・Mg線（XPS）測定によるスペクトル比較
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【分析事例】全固体電池の分析
構造・組成・電気特性を組合せた総合的な分析評価
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研究開発を加速する、[新]表面分析サービス開始！
最表面だけでなく、30nmの深部まで ～表面と材料内部の化学状態を同一箇所・非破壊で定量評価！～
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