【測定法】電子顕微鏡観察・分析
【測定法】電子顕微鏡観察・分析
◆AES（オージェ電子分光法） ◆SEM（走査電子顕微鏡法） ◆EBIC（電子線誘起電流法) ◆EBSD（電子後方散乱回折法） ◆EDX（エネルギー分散型X線分光法） ◆EPMA（電子線マイクロ分析法） ◆TEM（透過電子顕微鏡法） ◆EELS（電子エネルギー損失分光法) ◆SIM（走査イオン顕微鏡法)
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［AES］オージェ電子分光法
電子線照射により放出されるオージェ電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面に存在する元素の種類・存在量に関する知見を得られます
最終更新日
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［SEM］走査電子顕微鏡法
高倍率観察(30万倍程度まで)が可能
最終更新日
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［EBIC］電子線誘起電流
試料内部の電界構造（半導体の接合構造）に関する情報を得ることができる手法
最終更新日
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[EBSD]電子後方散乱回折法
容易に広い領域の結晶情報を得ることが可能
最終更新日
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［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）
電子線照射により発生する特性X線を検出し、エネルギーで分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です
最終更新日
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［Slice&View］三次元SEM観察法
FIBでの断面出し加工とSEMによる観察を細かく繰り返し、取得した像を再構築することで立体的な構造情報を得ることができます
最終更新日
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［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法
ナノオーダーでの元素分析・状態評価・粒径解析・三次元立体構築像の取得
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［TEM-EELS］電子エネルギー損失分光法
電子が薄片試料を透過する際に原子との相互作用により失うエネルギーを測定することによって、物質の構成元素や電子構造を分析
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［ED］電子回折法
EDは、電子線を試料に照射することで得られた回折パターンから結晶構造を調べる手法です
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［SIM］走査イオン顕微鏡法
高分解能（加速電圧30kV：4nm）でのSIM像観察が可能
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［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（TEM）
EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測し、元素分析や組成分析を行う手法です。
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【分析事例】液晶ディスプレイの劣化分析
液晶、配向膜、シール材、TFTなどを総合的に評価します。
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【分析事例】細菌の画像からの細胞周期評価
深層学習×データ解析により、多量のデータを活用して試料特性を評価できます
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[TEM ED-Map]TEM電子回折マッピング法
TEMの電子回折を利用して、結晶性試料の方位分布解析を行う手法です。
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【分析事例】ノーマリーオフ型GaN HEMT二次元電子ガス層評価
製品調査の複合解析をワンストップでご提案可能です
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【分析事例】トレンチ型Si-MOSFETIDSSリーク箇所解析
デバイスの不良箇所特定から要因解析までワンストップでご提供
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【分析事例】SiCトランジスタのSlice&view故障解析
SEM像の3D化でリークパスを確認
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【分析事例】SiCパワートランジスタリーク箇所の成分分析
Slice＆Viewで特定したゲート破壊箇所で拡大観察やEDX分析が可能
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[EPMA]電子プローブマイクロアナライザー
真空中で細く絞られた 電子線を固体試料表面に照射し発生する特性X線を分析することで、元素の同定や定量値に関する知見を得られます
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吸収電流による抵抗異常箇所特定
吸収電流像から配線の高抵抗・オープン箇所の特定ができます。
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Xe-プラズマFIBによる構造解析
数百μmの広い領域を対象に精密加工/構造評価が可能
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【分析事例】リチウムイオン二次電池
サンプル冷却でセパレータ断面形状を正確に評価
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【分析事例】STEM、EBSD像シミュレーション多結晶体構造解析
像シミュレーションを併用した結晶形の評価
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【分析事例】全固体電池の分析
構造・組成・電気特性を組合せた総合的な分析評価
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【分析事例】二次電池セパレータの構造評価
有機/無機多層構造の形状評価、組成評価
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【分析事例】二次電池正極の抵抗値およびLiの分布評価
電極断面の抵抗値分布、導通パスの可視化およびイオン分布との比較
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【分析事例】二次電池正極活物質の総合評価
開発課題の解決のために構造・組成・電気を組み合わせた評価を提案
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