[TEM ED-Map]TEM電子回折マッピング法
TEMの電子回折を利用して、結晶性試料の方位分布解析を行う手法です。
基本情報
TEM試料に電子線を入射すると、TEM試料内に存在する結晶によって透過方向に電子回折パターンが形成されます。このパターンを連続的に取得・解析することで、各結晶粒の方位情報が得られます。 ※TEM試料の厚みを薄膜化することにより、より小さい結晶粒を評価できます。
価格帯
納期
用途／実績例
・多結晶薄膜の結晶粒径評価 ・アモルファス中に存在する結晶の粒径評価 ・結晶配向性評価
取り扱い会社
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