［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（TEM）
EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測し、元素分析や組成分析を行う手法です。
EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測し、元素分析や組成分析を行う手法です。EDS： Energy Dispersive X-ray Spectroscopyとも呼ばれます。 多くの場合、SEMまたはTEMに付属しており、本資料ではTEMに付属のEDXについて紹介します。 ・全元素範囲（B～U）の同時分析が可能（付属装置によりBeの検出も可） ・0.1nmφ～の細い電子線プローブで測定が可能 ・ドリフト補正機能を用いることで、面分析でサブnmの積層膜を分布像として識別可能 ・面分析では任意箇所のスペクトルの抽出や線分析の表示が可能
基本情報
EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測する手法です。特定X線のエネルギーは元素固有なの で、試料を構成する元素の同定が行えます。また、強度から組成に関する情報が得られます。
価格情報
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納期
用途／実績例
■微小領域（～1μm）の組成分析・面分析 ・RIE/ウェットエッチング後のデポジション物解析 ・KLA欠陥検査装置で特定されたウエハ欠陥箇所の異物解析 ・Niシリサイドの形状、組成分析
詳細情報
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