OBF STEM法とは （最適明視野走査透過電子顕微鏡法）
OBF STEM：Optimum Bright-Field STEM法
OBF STEM法とは分割型STEM検出器の各セグメントで取得した複数のSTEM像に対し、重み付けを伴う周波数フィルタを施し、セグメントごとに異なる空間周波数成分を適切に強調した像を統合することで1枚のSTEM像を再構築する手法です。 検出信号を効率よく活用できるため、電子線照射量が少ない条件でも低ノイズ・高コントラストで構造を可視化できる点が特徴です。
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LSI・メモリ,光デバイス,二次電池,高分子材料の分析です。
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