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Xe-プラズマFIBによる構造解析

数百μmの広い領域を対象に精密加工/構造評価が可能

高い位置精度かつ広域の断面作製を実現し新しい大容量解析アプリケーションとして活用できます 大面積中の小さな構造でも狙って加工でき、広域の構造解析が可能

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基本情報

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用途/実績例

LSI・メモリの分析です。 ・高分子や液体材料のクライオ加工 ・電池やボンディングなどの3次元大容量データ解析 ・大気非暴露環境での加工/観察/分析 ・高感度EDX元素分析 ・化合物などGaで変質する試料の精密加工

【分析手法詳細編】Xe-プラズマFIBによる構造解析

技術資料・事例集

取り扱い会社

MSTは受託分析サービスをご提供する財団法人です。 TEM・SIMS・XRDなど、さまざまな分析装置を保有し、分析ニーズに応えます。 知識豊富な営業担当が、適切な分析プランをご提案。貴社に伺ってのご相談も、もちろん可能です。 ISO9001・ISO27001取得。 製品開発・不良原因の解明・特許調査はぜひご相談ください! MSTは、あなたの「困った!」を解決へと導きます。

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