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[AES]オージェ電子分光法

電子線照射により放出されるオージェ電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面に存在する元素の種類・存在量に関する知見を得られます

・固体材料の表面(深さ数nm)の定性・定量が可能 ・微小領域(数十nm~サブミクロン程度)の定性・定量が可能 ・主成分元素の深さ方向分析・線分析・面分析の測定が可能 ・SiやAl等、幾つかの元素については酸化物状態及び金属状態の評価が可能 ・SEM像による着目箇所の特定が可能

関連リンク - https://www.mst.or.jp/method/tabid/140/Default.asp…

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用途/実績例

・金属多層膜の相互拡散評価 ・各種金属の酸化膜評価 ・特殊形状(球体・内壁等)の組成評価 ・電池材料の元素分布評価、劣化評価 ・デバイス上の数十nm~サブミクロン程度の異物評価 ・断面加工併用による層間異常部の評価 ・割断面の層構造、元素分布評価

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