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【分析事例】IC法によるSi含有溶液中のTMAH分析事例

IC(イオンクロマトグラフ)法でアミン類の測定が可能です

水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)は、半導体の現像液やエッチング液として用いられています。 Siのエッチング液に用いたTMAH溶液の濃度を測定する場合、溶液中に多量に溶解したSiが夾雑物となり、測定結果に影響を与える場合がありますが、IC(イオンクロマトグラフ)法による評価ではSiの影響を受けることなく、TMAH濃度の定量分析が可能です。

関連リンク - https://www.mst.or.jp/casestudy/tabid/1318/pdid/54…

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【分析事例】IC法によるSi含有溶液中のTMAH分析事例_C0359

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