【分析事例】SIMSによるGaN系LED不純物の深さ方向濃度分析
目的に応じた分析条件で測定します
SIMS分析では目的に合わせて最適な分析モードを選択することで、より厳密な評価が可能です。 GaN系LED構造のドーパント元素であるMgやSiの深さ方向濃度分布を複数の分析モードで評価した事例をご紹介します。
基本情報
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用途／実績例
照明・パワーデバイス・光デバイスの分析です
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