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【分析事例】SIMSによるGaN系LED不純物の深さ方向濃度分析

目的に応じた分析条件で測定します

GaN系LED構造のドーパント元素であるMgやSiの深さ方向濃度分布を複数の分析モードで評価した事例をご紹介します。 SIMS分析では目的に合わせて最適な分析モードを選択することで、より厳密な評価が可能になりますのでお気軽にご相談ください。

関連リンク - https://www.mst.or.jp/casestudy/tabid/1318/pdid/25…

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照明・パワーデバイス・光デバイスの分析です

【分析事例】SIMSによるGaN系LED構造中不純物の深さ方向濃度分析_C0251

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