高精度多孔質セラミックス真空チャック『エアロフィックス』

浮く、止める、運ぶ！静電気防止材料として極薄基板等ワークの防汚課題を解決します

『エアロフィックス』は、独自のセラミックス焼結技術により、従来のスルーホールタイプ真空チャックの課題を解決する、真空チャックです。ウェット、ドライ環境、さまざまなワークサイズに対応。ワークごとに形式やサイズを取り揃える必要がなく、コスト低減と作業効率向上を実現します。静電気を帯電・放電せず除電するため「イオナイザー」などの追加設備も不要で、精密製品ワークにも安心です。【特長】 ■静電気防止材料として極薄基板等ワークの防汚課題を解決 ■部分吸着可能な為さまざまなワークサイズがこれ1台で対応できる ■ワークの汚染リスクを低減し非接触浮上搬送を実現 ■高性能・高精度な均一吸着力で、デリケートな薄物ワークに適する ■省スペースを実現するサクションロール ■既存装置に“ポン”と置くだけなので簡便＆コストダウン ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【その他の特長】 ■静電気を帯電・放電せず除電するため「イオナイザー」などの追加設備も不要 ■ウェット、ドライ環境、さまざまなワークサイズに対応 ■ワークごとに形式やサイズを取り揃える必要がなく、コスト低減と　作業効率向上を実現 ■ワークは浮上ユニットで浮きあがるとともに、軽微な力で吸着盤上を　自在に動かすことができる ■アルミ、ステンレスなど従来型の真空チャックの課題、変形やたわみ・　歪み・端部の反りを解消 ■ミクロンオーダーの超微細気孔と独自の真空排気方式によりデリケートな　薄物ワークにも安心 ■サクションロールでフィルム素材をサクションマークなしに吸着、　高速搬送が可能 ■どの部位でも固定が可能で、工場ラインの省スペース化を実現 ■据え置き型の「トッププレート」は、現在お使いの真空チャックの上に　ポンと置くだけで、性能・機能を発揮 ■締結の必要はなし ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。