ダイシングリング洗浄装置『株式会社 高田工業所製』

ジェット洗浄タイプ（非接触式）と、スクラブ洗浄タイプ（接触式）の2種類の仕様から選べるダイシングリング（フレーム）洗浄装置

最終更新日 2020年12月11日

バッチ式洗浄装置

クリーン化技術・搬送／制御 技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄装置を提供いたします。

最終更新日 2024年07月31日

IPA 蒸気洗浄装置

デバイス・ウエハ・ガラス・部品等、材質や形状を問わず 、高純度のIPA を用いたクリーン乾燥が可能

最終更新日 2024年07月31日

研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥離性能の高い枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置【テスト可】

最終更新日 2020年12月11日

試作開発 枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用した剥離性能の高い 枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置

最終更新日 2020年12月11日

量産向け枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用した剥離性能の高い 枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置

最終更新日 2020年12月11日

医薬・製薬・ライフサイエンス向け cGMP･FDA対応洗浄機

細かな御要望に対応可能なGMP･FDA･EHEG対応 洗浄機(医薬品製造設備向け) ※デモ対応可（Atec Japan）

最終更新日 2023年09月04日

標準タイプクリーンローラー『RYシリーズ』

インラインにもアウトラインにも好適な除塵装置です。 2連から5連まで取り揃えております。

最終更新日 2024年07月31日

クリーンローラー『RYシリーズ』薄板対応タイプ

薄板対応の除塵装置。 駆動部にマグネットギアを採用！この一台で幅広い基板厚に対応可となっております

最終更新日 2021年01月26日

除塵　ロールtoロール　RUTRシリーズ

御社仕様のユニットローラーをご提案いたします。

最終更新日 2021年01月26日