複合分子ポンプ TG5000/5003 TG5500/5503
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
基本情報
【製品の特長】 ○クリーンプロセス向けの標準型と、腐食性ガスの排気に強いケミカル形をラインアップ ○世界最大級の複合分子ポンプ ○不意の大気突入に強い構造 ○外部からの衝撃に強い ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
価格情報
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納期
型番・ブランド名
TG5000/5003，TG5500/5503
用途／実績例
半導体製造 電子銃排気、イオン源排気 FPD製造 表面処理、表面改質 各種電子部品製造 管球製造、光学部品製造 加速器、放射線施設、核融合研究 熱処理 研究開発 その他詳細はお問い合わせください
取り扱い会社
「安心して、満足して、長期間使用可能な信頼性の高い製品」をお客様に提供する！ 大阪真空は、お客様に満足頂く真空機器をご提供するために、 「カスタマイズ化」・「高度安全対応」・「未来志向」・「カスタマーサポート体制」 を、４大目標として掲げ、その具体化とより一層の深化に邁進しています。
