ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプ
高真空用の真空ポンプ。クリーンな高真空を得られることが特長です。半導体、FPD、太陽電池など高真空を必要とする産業で多くの実績があります。
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電源ユニット・ポンプ一体型ターボ分子ポンプ
新製品TGkine4200M発売！！余計な配線が不要で作業効率とメンテナンス性が向上！
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コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ
余計な配線が不要で作業効率とメンテナンス性が向上！
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複合分子ポンプ TG203
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
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複合分子ポンプ TG553
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
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複合分子ポンプ TG1003
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
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複合分子ポンプ TG1303
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
最終更新日
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複合分子ポンプ TG1810/1813
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
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複合分子ポンプ TG2813
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
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複合分子ポンプ TG3213
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
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複合分子ポンプ TG3413
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
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複合分子ポンプ TG5000/5003 TG5500/5503
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
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磁気軸受形 複合分子ポンプ(TG-Mシリーズ)
広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。
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姿勢自在型複合分子ポンプ TG70F
取付姿勢自在なパワーサプライ一体型ターボ分子ポンプ
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姿勢自在型複合分子ポンプ TG240F
取付姿勢自在なパワーサプライ一体型ターボ分子ポンプ
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姿勢自在型複合分子ポンプ TG50F
取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
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姿勢自在型複合分子ポンプ TG220F
取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
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姿勢自在型複合分子ポンプ TG350F
取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
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姿勢自在型複合分子ポンプ TG450F
取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
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姿勢自在型複合分子ポンプ TG1100F
取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
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姿勢自在型複合分子ポンプ TG1400F
取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
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姿勢自在型複合分子ポンプ TG2400F
大気突入に強く、取付姿勢自在も可能なターボ分子ポンプ
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磁気軸受形複合分子ポンプ TG420M
広領域排気：低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ
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磁気軸受形複合分子ポンプ TG900M
低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ
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磁気軸受形複合分子ポンプ TG1300M
低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ
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磁気軸受形複合分子ポンプ TG2400M
大流量 排気・低振動に対応したターボ分子ポンプ
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超高真空形 磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MU
超高真空仕様ターボ分子ポンプ
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極低振動 磁気軸受形複合分子ポンプ TG-MLシリーズ
ポンプの振動値を1nm以下に抑えた低振動ポンプ。防振ダンパーを装着すると更に1桁低減(0.1nm)！
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反応生成物対応 磁気軸受形複合分子ポンプ TG-MIシリーズ
独自の生成物対策により、プロセスで発生する反応生成物のポンプへの堆積を大幅に減少！
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耐放射線仕様 磁気軸受形複合分子ポンプ TG-MRシリーズ
放射線環境下で使用するために開発されたターボ分子ポンプ！
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ターボ分子ポンプ排気システム STシリーズ
キャスター付きのターボ分子ポンプ排気ユニット
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