磁気軸受形複合分子ポンプ TG2400M
大流量 排気・低振動に対応したターボ分子ポンプ
基本情報
【製品の特長】 ○大流量排気 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○安全規格適合(NRTL/SEMI-S2/CE) ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
価格情報
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